Czasopisma
Czasopisma
Czasopisma
ATEST - OCHRONA PRACY
ATEST - OCHRONA PRACY
AURA
AURA
AUTO MOTO SERWIS
AUTO MOTO SERWIS
CHEMIK
CHEMIK
CHŁODNICTWO
CHŁODNICTWO
CIEPŁOWNICTWO, OGRZEWNICTWO, WENTYLACJA
CIEPŁOWNICTWO, OGRZEWNICTWO, WENTYLACJA
DOZÓR TECHNICZNY
DOZÓR TECHNICZNY
ELEKTROINSTALATOR
ELEKTROINSTALATOR
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA
Czasopisma
Czasopisma
Czasopisma
GAZETA CUKROWNICZA
GAZETA CUKROWNICZA
GAZ, WODA I TECHNIKA SANITARNA
GAZ, WODA I TECHNIKA SANITARNA
GOSPODARKA MIĘSNA
GOSPODARKA MIĘSNA
GOSPODARKA WODNA
GOSPODARKA WODNA
HUTNIK - WIADOMOŚCI HUTNICZE
HUTNIK - WIADOMOŚCI HUTNICZE
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA
MASZYNY, TECHNOLOGIE, MATERIAŁY - TECHNIKA ZAGRANICZNA
MASZYNY, TECHNOLOGIE, MATERIAŁY - TECHNIKA ZAGRANICZNA
MATERIAŁY BUDOWLANE
MATERIAŁY BUDOWLANE
OCHRONA PRZECIWPOŻAROWA
OCHRONA PRZECIWPOŻAROWA
OCHRONA PRZED KOROZJĄ
OCHRONA PRZED KOROZJĄ
Czasopisma
Czasopisma
Czasopisma
ODZIEŻ
ODZIEŻ
OPAKOWANIE
OPAKOWANIE
PACKAGING REVIEW
PACKAGING REVIEW
POLISH TECHNICAL REVIEW
POLISH TECHNICAL REVIEW
PROBLEMY JAKOŚCI
PROBLEMY JAKOŚCI
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
PRZEGLĄD GASTRONOMICZNY
PRZEGLĄD GASTRONOMICZNY
PRZEGLĄD GEODEZYJNY
PRZEGLĄD GEODEZYJNY
PRZEGLĄD MECHANICZNY
PRZEGLĄD MECHANICZNY
PRZEGLĄD PAPIERNICZY
PRZEGLĄD PAPIERNICZY
Czasopisma
Czasopisma
Czasopisma
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY
PRZEGLĄD TECHNICZNY. GAZETA INŻYNIERSKA
PRZEGLĄD TECHNICZNY. GAZETA INŻYNIERSKA
PRZEGLĄD TELEKOMUNIKACYJNY - WIADOMOŚCI TELEKOMUNIKACYJNE
PRZEGLĄD TELEKOMUNIKACYJNY - WIADOMOŚCI TELEKOMUNIKACYJNE
PRZEGLĄD WŁÓKIENNICZY - WŁÓKNO, ODZIEŻ, SKÓRA
PRZEGLĄD WŁÓKIENNICZY - WŁÓKNO, ODZIEŻ, SKÓRA
PRZEGLĄD ZBOŻOWO-MŁYNARSKI
PRZEGLĄD ZBOŻOWO-MŁYNARSKI
PRZEMYSŁ CHEMICZNY
PRZEMYSŁ CHEMICZNY
PRZEMYSŁ FERMENTACYJNY I OWOCOWO-WARZYWNY
PRZEMYSŁ FERMENTACYJNY I OWOCOWO-WARZYWNY
PRZEMYSŁ SPOŻYWCZY
PRZEMYSŁ SPOŻYWCZY
RUDY I METALE NIEŻELAZNE
RUDY I METALE NIEŻELAZNE
SZKŁO I CERAMIKA
SZKŁO I CERAMIKA
TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU
TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU
WIADOMOŚCI ELEKTROTECHNICZNE
WIADOMOŚCI ELEKTROTECHNICZNE
WOKÓŁ PŁYTEK CERAMICZNYCH
WOKÓŁ PŁYTEK CERAMICZNYCH
Menu
Menu
Menu
Prenumerata
Prenumerata
Publikacje
Publikacje
Drukarnia
Drukarnia
Kolportaż
Kolportaż
Reklama
Reklama
O nas
O nas
ui-button
Twój Koszyk
Twój koszyk jest pusty.
Niezalogowany
Niezalogowany
Zaloguj się
Zarejestruj się
Reset hasła
Czasopismo
|
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
|
Rocznik 2018 - zeszyt 7
Termodesorpcja ksenonu implantowanego do krzemu
(Thermal desorption of xenon implanted into silicon
10.15199/48.2018.07.40
Marcin TUREK
Andrzej DROŹDZIEL
Krzysztof PYSZNIAK
Artur WÓJTOWICZ
Yuriy YUSHKEVICH
nr katalogowy: 114680
10.15199/48.2018.07.40
Streszczenie
Artykuł prezentuje wyniki badań termodesorpcji Xe zaimplantowanego do krzemu (energie 80 keV, 100 keV oraz 150 keV). Zaobserwowano gwałtowne emisje Xe w temperaturach od 1060 K do ~1600 K, pochodzące najprawdopodobniej od uwalniania gazu zgromadzonego w aglomeratach we wnękach w matrycy Si. Oszacowano wartości energii aktywacji desorpcji – jest ona rzędu 3 do 3,4 eV w rozpatrywanym zakresie energii implantacji, a więc jest większa niż dla badanych wcześniej lżejszych gazów szlachetnych w matrycy Si.
Abstract
Studies of the thermal desorption of Xe implanted into Si (wih energies 80 keV, 100 keV and 150 keV) are presented Sudden Xe emission at temperatures ranging from 1060 K up to ~1600 K, probably due to releases of gas bubles agglomerated in Si matrix cavities are observed.Values of deorption activation energy are estimated - it is in the range 3-3.4 eV in the considered implantation energy range, larger than for lighter noble gases implanted into Si.
Słowa kluczowe
Spektroskopia termodesorpcyjna
implantacja jonowa
krzem.
Keywords
Thermal desorption spectroscopy
ion implantation
silicon.
Bibliografia
[1] Chernikov V.N., Ullmaier H., Zakharov A.P., Journal of Nucl. Mat. 694 (1998), 258 PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY, ISSN 0033-2097, R. 94 NR 7/2018 161 [2] Zibrov M., Gasparyan Yu., , Ryabtsev S., Pisarev A., Physics Procedia 83 (2015), 71 [3] Kaschny J.R., Fichtener P.F.P., Muecklich A., Nucl. Instrum. Meth. 583 (1998), B136 [4] Godey S., Sauvage T., Ntsoenzok E., Erramli H., Beaufort M.F., Barbot J.F., Leroy B., J. Appl. Phys. 87 (1999), 2158 [5] Bruel M., Aspar B, Charlet B., Maleville C., Poumeyrol T., A. Soubie, Auberton-Herve, A.J., Lamure J.M., T. Barge et al. 1995 IEEE International SOI Conference Proceedings p.178 [6] Kögler R., Peeva A., Lebedev A., Posselt M., Skorupa W., Oezelt G., Hutter H., Behar M., J. Appl. Phys. 94 (2003), 3834 [7] van Gorkum A.A., Kornelsen E.V., Vacuum 31 (1981), 89 [8] Atsumi H., Takemura Y., Konishi T., Tanabe T., Shikama T., Journal of Nuclear Materials 438 (2013) S963 [9] Alimov V.Kh., Tyburska-Püschel B., Lindig S., Hatano Y., Balden M., Roth J., Isobe K., Matsuyama M., Yamanishi T., J. of Nucl. Mater. 420 (2012), 519 [10] Porosnicu C., Anghel A., Sugiyama K., Krieger K., Roth J., Lungu C.P., Journal of Nuclear Materials 415 (2011), S713 [11] Pivac B., Milat O., Dubček P., Bernstorff S., Corni F., Nobili C., Tonini R. Phys. Stat. Sol. A 198 (2003), 29 [12] Morozov O., Zhurba V., Neklyudov I., Mats O., Rud A., Chernyak N., Progolaieva V. Nanoscale Res Lett. 10 (2015), 154 [13] Chang S., Lin T., Li T., Journal of Nanomaterials 2014, 690498 (2014) [14] Godey S., Ntsoenzok E., Sauvage T., van Veen A., Labohm F., Beaufort M.F., Barbot J.F., Materials Science and Engineering B73 (2000), 54 [15] Oliviero E., David M.L., Beaufort M.F., Barbot J.F., van Veen A. Appl. Phys. Lett., 81 (2002), 4201 [16] Corni F., Calzolari G., Gambetta F., Nobili C., Tonini R., Zapparoli M., Materials Science and Engineering B71 (2000), 207 [17] Cerofolini G.F., Calzolari G., Corni F., Frabboni S., Nobili C., Ottaviani G., Tonini R., Phys. Rev. B 61 (2000), 10183 [18] Lau W.M., Bello I., Huang L. J., Feng X., Vos M., Mitchell I.V., J. Appl. Phys. 74(1993), 7105 [19] Hanada R., Saito S., Nagata S., Yamaguchi S., Shinozuka T., Fujioka I., Mat. Sci. Forum 196-201 (1995), 1375 [20] Drozdziel A., Wojtowicz A., Turek M., Pyszniak K., Maczka D., Slowinski B., Yushkevich Y.V., Zuk J. Acta Phys. Pol. A 125 (2014), 1400 [21] Turek M., Drozdziel A., A. Wójtowicz, J. Filiks, K. Pyszniak, D. Mączka, Y. Yuschkevich (przyjęte do druku w Acta Physica Polonica A) [22] vom Felde A., Fink J., Müller-Heinzerling T., Pflüger J., B. Scheerer, Linker G., Phys. Rev. Lett. 53(1984), 922 [23] Faraci G., Pennisi A.R.,Terrasi A., Phys. Rev. B 38(1988), 13468 [24] Barbieri P. F., Landers R., and Marques F. C., Appl. Phys. Lett. 90 (2007), 164104 [25] Ntsoenzok E., Assaf H., Ruault M.O., Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 864 (2005), E7.3.1 [26] Herbig C., Ahlgren E.H., Schroeder U.A., Martınez-Galera A.J., Arman M.A., Kotakoski J., Knudsen J., Krasheninnikov A.V. and Michely T., Physical Review B 92 (2015), 085429 [27] Werner M., van den Berg J. A., Armour D. G., Carter G., Feudel T., Herden M., Bersani M., Giubertoni D., Ottaviano L., Bongiorno C., Mannino G., Bailey P., Noakes T. C. Q., Appl. Phys. Lett. 86 (2005), 151904 [28] Marques F.C., Barbieri P.F., Viana G.A., da Silva D.S., Applied Surface Science 275(2013), 156 [29] Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P., Nucl. Instr. Meth. B 268 (2010), 1818 [30] Turek M., Droździel A., Pyszniak K., Wójtowicz A., Mączka D., Yuschkevich Y., Vaganov Y., J. Żuk Acta Physica Polonica A 127 (2015), 849 [31] Blackburn R., Metallurgical Review 11 (1966), 159 [32] Redhead P.A., Vacuum 12 (1962), 203
Treść płatna
Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp -
zaloguj się
.
Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!
Publikacja
e-Publikacja (format pdf) - nr 114680 "Termodesorpcja ksenonu im..."
licencja: Osobista
Produkt cyfrowy
10.00 zł
Do koszyka
Zeszyt
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2018-7
licencja: Osobista
Produkt cyfrowy
55.00 zł
Do koszyka
Prenumerata
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista
Produkt cyfrowy
Nowość
762.00 zł
Do koszyka
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista
Szczegóły pakietu
Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
1002.00 zł brutto
927.78 zł netto
74.22 zł VAT
(stawka VAT 8%)
1002.00 zł
Do koszyka
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista
Szczegóły pakietu
Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna
960.00 zł brutto
888.89 zł netto
71.11 zł VAT
(stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka
42.00 zł brutto
34.15 zł netto
7.85 zł VAT
(stawka VAT 23%)
1002.00 zł
Do koszyka
Zeszyt
2018-7
Czasopisma
ATEST - OCHRONA PRACY
AURA
AUTO MOTO SERWIS
CHEMIK
CHŁODNICTWO
CIEPŁOWNICTWO, OGRZEWNICTWO, WENTYLACJA
DOZÓR TECHNICZNY
ELEKTROINSTALATOR
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA
GAZETA CUKROWNICZA
GAZ, WODA I TECHNIKA SANITARNA
GOSPODARKA MIĘSNA
GOSPODARKA WODNA
HUTNIK - WIADOMOŚCI HUTNICZE
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA
MASZYNY, TECHNOLOGIE, MATERIAŁY - TECHNIKA ZAGRANICZNA
MATERIAŁY BUDOWLANE
OCHRONA PRZECIWPOŻAROWA
OCHRONA PRZED KOROZJĄ
ODZIEŻ
OPAKOWANIE
PACKAGING REVIEW
POLISH TECHNICAL REVIEW
PROBLEMY JAKOŚCI
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
PRZEGLĄD GASTRONOMICZNY
PRZEGLĄD GEODEZYJNY
PRZEGLĄD MECHANICZNY
PRZEGLĄD PAPIERNICZY
PRZEGLĄD PIEKARSKI I CUKIERNICZY
PRZEGLĄD TECHNICZNY. GAZETA INŻYNIERSKA
PRZEGLĄD TELEKOMUNIKACYJNY - WIADOMOŚCI TELEKOMUNIKACYJNE
PRZEGLĄD WŁÓKIENNICZY - WŁÓKNO, ODZIEŻ, SKÓRA
PRZEGLĄD ZBOŻOWO-MŁYNARSKI
PRZEMYSŁ CHEMICZNY
PRZEMYSŁ FERMENTACYJNY I OWOCOWO-WARZYWNY
PRZEMYSŁ SPOŻYWCZY
RUDY I METALE NIEŻELAZNE
SZKŁO I CERAMIKA
TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU
WIADOMOŚCI ELEKTROTECHNICZNE
WOKÓŁ PŁYTEK CERAMICZNYCH