Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 9

Profilowanie składu chemicznego tlenkowych warstw pasywacyjnych metodą spektromikroskopii elektronów Augera

nr katalogowy: 62671

Spektromikroskopia elektronów Augera (AES), sprzężona z trawieniem jonowym, pozwala na lokalną identyfikację zanieczyszczeń na powierzchni ciała stałego (do głębokości ok. 3 nm) oraz na wyznaczenie rozkładu koncentracji pierwiastków w funkcji odległości od powierzchni. Szczególnie ważne dla technologii struktur półprzewodnikowych jest określenie wgłębnych profili składu cienkich warstw o grubościach nanometrycznych, w tym tlenkowych warstw pasywacyjnych oraz obszarów granic fazowych. Jednakże, poważnym problemem w tym przypadku jest rozmycie profili koncentracji pierwiastków wskutek takich procesów, jak trawienie preferencyjne i mieszanie atomów, a także - w strukturach wieloskładnikowych - nakładanie się pików AES o zbliżonych energiach. Uzyskanie informacji ilościowej o składzie chemicznym wymaga więc, z jednej strony, systematycznego, starannego pomiaru serii widm pochodzących z kolejnych warstw próbki, a z drugiej - zastosowania odpowiedniej analizy linii widowych [1, 2]. W pracy zastosowano profilowanie AES oraz własną numeryczną procedurę analizy widm całkowych do określania składu chemicznego oraz grubości cienkich tlenkowych warstw pasywacyjnych: (i ) na powierzchni stali nierdzewnej zawierającej chrom, która jest stosowana w transplantologii oraz (ii ) w strukturze HfO2/SiO2/SiC, stosowanej w mikroelektronice do konstrukcji przyrządów półprzewodnikowych (diod, tranzystorów) dużej mocy i wysokich temperatur; struktura ta zawierała buforową nanowarstwę SiO2 o grubości 5 nm. Procedura numeryczna widm AES obejmuje odjęcie tła widma, dekompozycję nakładających się linii widmowych różnych pierwiastków w oparciu o algorytm ewolucyjny, z wykorzystaniem funkcji pseudo Voigta jako wzorca piku oraz identyfikację przesunięć chemicznych. W przypadku analizowanych warstw tlenkowych, kluczowym zagadnieniem było rozdzielenie nakładających się złożonych linii tlenu i chromu (w notacji spektroskopii AES oznaczanych odpowiednio [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 99579 "Metody pomiaru drgań górn..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2011-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma