Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2016 - zeszyt 4

Badanie dokładności rekonstrukcji powierzchni z interferogramu światła białego z wykorzystaniem metod bazujących na transformacie Hilberta

10.15199/48.2016.04.46

nr katalogowy: 97624
10.15199/48.2016.04.46

W pracy opisano metody rekonstrukcji profilu powierzchni z interferogramu światła białego. Po krótkim wprowadzeniu do teorii sygnałów analitycznych, zaproponowano cztery metody rekonstrukcji profilu powierzchni wykorzystujące dyskretną transformatę Hilberta. Przedstawiono wyniki badań dokładności tych metod na przykładzie rekonstrukcji powierzchni płaskiej pochyłej oraz kulistej. Abstract. The paper describes methods of surface profile reconstruction from the white light interferogram. The theoretical basis for a theory of analytical signals are given. Four methods for the reconstruction of the surface profile using a discrete Hilbert transform are offered. The accuracy analyses of these methods are presented on an example of the slant planar surface and spherical surface reconstruction.(Investigation of surface reconstruction precision from white light interferograms based on Hilbert transform). Słowa kluczowe: model matematyczny interferogramu światła białego, metoda rekonstrukcji powierzchni, transformata Hilberta, błąd rekonstrukcji powierzchni płaskiej i kulistej. Keywords: mathematic model of white light interferogram, method of surface reconstruction, Hilbert transform, reconstruction error of slant planar surface and spherical surface. Wstęp W wielu dziedzinach nauki i technologii pojawia się zagadnienie pomiaru parametrów powierzchni, na przykład jej profilu, chropowatości itd. W ostatnich latach znaczne zainteresowanie budzi wykorzystanie interferometrii światła białego (White Light Interferometry - WLI) do rekonstrukcji profilu powierzchni. Do zalet tej metody należy brak kontaktu z badanym obiektem, wysoka rozdzielczość, możliwość kontroli powierzchni o charakterze schodkowym [1,2,3]. Ze względu na rozwój technologii komputerowych otwierają się nowe możliwości automatyzacji procesu pomiaru i przetwarzania interferogramów. Ułatwia to korzystanie z tej techniki pomiarowej i rozszerza jej zakres zastosowań dzięki możliwośc[...]

Bibliografia

[1] Goodwin E.P., Wyan J.C. (2006). Field Guide to Interferometric Optical Testing, Washington: SPIE Press. (2006)
[2] Whitehouse D. J., Surface metrology, Meas. Sci. Technol., (1997), No.8, 955-972
[3] Kapłonek W., Łukianowicz C., Zastosowanie koherencyjnej interferometrii korelacyjnej do pomiarów topografii powierzchni, Przegląd Elektrotechniczny, 78 (2010), nr.10, 43-46
[4] Wyant J.C., White light interferometry, In Proc. SPIE 2002, Vol. 4737, (2002), 98-107
[5] Legande-Saenz R., Rodriguez-Vera R., Espinosa-Romero A. Dynamic 3-D shape measurement method based on quadrature transform, Optics Express (2010),vol.18, No. 3, 2639-2645
[6] Chen F., Brown G.M., Song M. Owerwiev of three-dimensional shape measurement using optical methods, Opt. Eng. 39, (2000), 10-22
[7] Muhamedsalih Н.М., Investigation of wavelength scanning interferometry for embedded metrology", Ph.D. thesis, Univ. of Huddersfield, (2013)
[8] Magalhaes P., Neto, P., Magalhães, C., New carré equation. Metrol. Meas. Syst. 17(2), (2010), 173-194
[9] Adamczak S., Makieła, W., Stępień, K., Investigating advantages and disadvantages of the analysis of a geometrical surface structure with the use of Fourier and wavelet transform. Metrol. Meas. Syst. 17(2), (2010), 233-244
[10] Stadnyk B., Manske E., Khoma A., State and prospects of computerized systems monitoring the topology of surfaces, based on white light interferomertry. Computational Problems of Electrical Engineering. 4(1), (2014), 75-80
[11] Abdul-Rahman, H., Three-dimensional Fourier Fringe analysis and phase unwrapping. Ph.D. thesis. Liverpool John Moores University, (2007)
[12] Novak J. Computer analysis of interference fields using Matlab, MATLAB conference, (2002)
[13] Cincio, R., Kacalak, W., Łukianowicz, C. System Talysurf CCI 6000 - metodyka analizy cech powierzchni z wykorzystaniem TalyMap Platinium. PAK. 54(4), (2008), str. 187-191.
[14] Khoma, A. (2014). Method of surface reconstruction from white light interferogram based on Hilbert transrorm. Computer Science and Information Technology, Lviv Polytechnic National University. No 800. 168-175. (in Ukrainian)
[15] Smith J.O., Mathematics of the Discrete Fourier Transform (DFT) CCRMA, Stanford, (2002)
[16] Zieliński T.P., Od teorii do cyfrowego przetwarzania sygnałów, ANTYKWA, Kraków, (2002)
[17] Smith S.W., Digital signal processing. A practical guide for engeneers and scientists, Elsevier Science, (2003)

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 97624 "Badanie dokładności rekon..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2016-4 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2016-4

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma