Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2016 - zeszyt 2

LabVIEW controller for storage results and control parameters of low thickness antireflection coatings deposition processes

10.15199/13.2016.2.6

nr katalogowy: 96814
10.15199/13.2016.2.6

W artykule przedstawiono system do kontroli, wizualizacji i zapisu danych procesów PVD. System został zaprojektowany w oparciu o środowisko LabVIEW i został z powodzeniem zastosowany w przemyśle optycznym. Wizualizacja jest bardzo intuicyjna dla operatora daje łatwą możliwość kontroli wszystkich parametrów procesu. Zapisane dane pomagają w polepszeniu jakości powłok i dają możliwość analizy procesów. Niski koszt wprowadzenie systemu czyni go również bardzo użytecznym narzędziem do modyfikacji starszego typu napylarek próżniowych oraz daje szansę stopniowej jego rozbudowy. Słowa kluczowe: sterownik procesu, programowanie graficzne LabVIEW, Regulator przepływu masy, powłoki antyrefleksyjne.Dynamic development of PVD (Physical Vapour Deposition) technology noticeable in the recent years causes increasing technological restrictions concerning repeatability of coatings processes. In case of production of multilayers AR (Antireflective Coatings) on optical parts the restrictions are especially high. The most important parameters in PVD technology for AR coatings are: rate of deposition, final thickness of layers of coatings, level of vacuum during deposition processes and stability of temperature of substrates. In many cases a stable dosing of technological gases is a critical point for deposition. The design of the dedicated system for AR coatings deposition processes working in graphical LabVIEW programming environments for control, intuitive visualization and storage of results is presented in this paper. The system allows to create a kind of library that helps to recreate th[...]

Bibliografia

[1] Ishikawa H., Honjo Y., Watanabe K., Three-layer broad-band antireflective coating on web, Thin Solid Films, Volume 351, Issues 1-2, 1999, 212-215.
[2] Rey-Stolle, C. Algora Optimum antireflection coatings for heteroface AlGaAs/GaAs solar cells—Part II: The influence of uncertainties in the parameters of window and antireflection coatings, Journal of Electronic Materials , Volume 29, Issue 7, 2000, 992-999.
[3] Bitter A.,. Mohiuddin R. T., Nawrocki M., LabVIEW Adwanced Programming Techniques SECOND EDITION, CRC Press, (2007).
[4] Driankov D., Hellendorn H., Reinfrank M., An Introduction to Fuzzy Control, NewYork (1995).
[5] Bress T., Effective LabVIEW Programming, 2013.
[6] Marszałek K. W., Sobków Z., Pisarkiewicz T., LCD displays test system working in LabVIEW environment , Elektronika, nr 9, (2009), 85-86.
[7] http://www.ni.com/white-paper/2995/pl/ "Zaawansowane funkcje regulacji za pomocą algorytmu PID" (2013)
[15.12.2015]
[8] http://www.ni.com/pdf/manuals/372192d.pdf "PID and Fuzzy Logic Toolkit User Manual", (2009)
[15.12.2015]
[9] Selhofer H., Mueller R., Comparison of pure and mixed coating on materials for AR coatings for use by reactive evaporation on glass and plastic lenses, Thin Solid Films, 351, (1999), 180-183.
[10] Winkowski P., Marszałek K. W., Wide band antireflective coatings Al2O3 / HfO2 / MgF2 for UV region, Proc. of SPIE Vol. 8902 890228-1 890228-5 (2014)
[11] J. Yuan, L.Yuan, H. He, K. Yi, Z.Fan, et al.,"Influence of ZrO2 in HfO2 on reflectance of HfO2 /SiO2 multilayer at 248 nm prepared by electron-beam evaporation", Applied Surface Science, 254, 15, 4864-4867, ( 2008).

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 96814 "LabVIEW controller for st..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2016-2 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2016-2

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma