Czasopismo | RUDY I METALE NIEŻELAZNE | Rocznik 2015 - zeszyt 12

WYTWARZANIE SPIEKÓW NA BAZIE METALI WYSOKOTOPLIWYCH I ZIEM RZADKICH JAKO MATERIAŁÓW ŹRÓDŁOWYCH DO NANOSZENIA WARSTW FUNKCJONALNYCH METODĄ MAGNETRONOWĄ

10.15 199/67.2015.12.12

nr katalogowy: 95711
10.15 199/67.2015.12.12

Wytwarzanie cienkich warstw funkcjonalnych metodą magnetronową wymaga stosowania specyficznych materiałów źródłowych, tzw. targetów. W artykule przedstawiono wyniki pracy nad technologią wytwarzania targetów W-Re, Mo-Re oraz TiO2 z wolframem, neodymem i hafnem, stosując nowoczesną techniką metalurgii proszków, jaką jest spiekanie impulsowo plazmowe (SPS). Zastosowana metoda pozwoliła na uzyskanie targetów o wysokiej gęstości i małej porowatości. Testy wytwarzania cienkich warstw metodą magnetronową z zastosowaniem otrzymanych targetów potwierdziły, że mogą być one stosowane do rozpylania magnetronowego. Słowa kluczowe: metalurgia proszków, spiekanie impulsowo plazmowe, target, rozpylanie magnetronowe, cienkie warstwy Mgr inż. Marcin Lis, dr Mieczysław Woch, prof. IMN, dr inż. Adam Szatkowski, dr Małgorzata Kamińska, dr Mariusz Staszewski, mgr inż. Dariusz Kołacz — Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice. e-mail: mieczyslaw.woch@imn.gliwice.pl Rudy Metale R60 2015 nr 12 s. 717÷722 718 FABRICATION OF SINTERS BASED ON REFRACTORY METALS AND RARE EARTHS AS THE STARTING MATERIALS FOR PREPARATION OF FUNCTIONAL THIN FILMS BY MAGNETRON SPUTTERING In order to fabricate thin functional films by a magneton method it is necessary to use specific starting materials, which are called targets. This paper presents results of a research work on fabrication of the W-Re, Mo-Re and TiO2 targets with tungsten, neodymium and hafnium, using a modern powder metallurgy technique — spark plasma sintering (SPS). The targets obtained by this method were of high density and low porosity. They were used during the tests with fabrication of thin films by a magnetron method confirming that they are suitable for magnetron sputtering. Keywords: powder metallurgy, spark plasma sintering, target, magnetron sputtering, thin films Wprowadzenie Cienkie warstwy funkcjonalne zajmują istotne miejsce w inżynierii powierzchni znajdując szerokie zastosowania, w takic[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 95711 "WYTWARZANIE SPIEKÓW NA BA..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


RUDY I METALE NIEŻELAZNE - e-zeszyt (pdf) 2015-12 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	32.00 zł

Zeszyt

2015-12

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Zeszyt

Czasopisma