Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2015 - zeszyt 11

Investigation of silicon nitride and DLC thin films hardness deposited with RF PECVD method

10.15199/13.2015.11.8

nr katalogowy: 95195
10.15199/13.2015.11.8

Silicon nitride (SiNx) and diamond like carbon (DLC) thin films has already found a wide range of applications in electronic and optical industry [1,2]. These films have a number of useful properties such as low density, resistance to high temperatures, low electrical conductivity, thermal shock resistance, abrasion and oxidation resistance [3-5]. Due to high hardness and the etching selectivity with SiO2, silicon nitride is used as a planarization layer - CMP - stop (Chemical Mechanical Polishing) in STI technology (Shallow Trench Isolation). SiNx with thickness ranging from 50 nm to 200 nm is also an excellent antireflective, passivation and protective coating for silicon solar cells [6]. For both passivation and protective purposes silicon nitride and DLC films provide a diffusion barrier against water molecules and sodium ions [7]. Moreover, both materials exhibit very good chemical stability and inertness, qualities which are important in the design of reliable biochemical and biomedical devices [8]. For most of the optical and sensing applications, thickness, optical and mechanical properties of thin films play a critical role in performance of the device [9,10]. Properties such as refractive index of SiNx films can be tuned from those similar to Si3N4 (n = 2.0) to those of amorphous silicon (n = 3.5) [8]. Whereas refractive index of DLC films varies with with the hydrogen content and the sp2/sp3 ratio, exhibiting values from 1.8 to 2.2 in the infrared spectral range. Moreover, both films show very low optical absorption in the infrared and due to these excellent optical properties, waveguides based on the films have transmission losses as low as 0.1 and 0.3 dB/cm for SiNx and DLC films respectively [8-10]. Similarly, as in the case of optical properties, good mechanical properties of DLC and SiNx films, i.e. hardness and Young’s modulus play a significant role in the proper operation of the optical system. In th[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 95195 "Investigation of silicon ..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2015-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2015-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma