Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2015 - zeszyt 10

Towards MEMS-based chem/bio sensing arrays with on-chip optical read-out

10.15199/48.2015.10.49

Mariusz MARTYNIUK

nr katalogowy: 94039
10.15199/48.2015.10.49

Sensing on the microscale using microelectromechanical systems (MEMS) has established itself commercially as one of the dominant world-wide sensing technologies, providing commercialised sensing solutions for pressure, inertia, temperature, as well as for more challenging applications in remote infrared imaging and energy harvesting. However, to date MEMS has not delivered any commercially successful chem/bio sensor, even though it has been established for some time that microcantilever-based sensing can detect chem/bio agents at the level of single molecules or even zeptograms (10-21 g). The widespread application of this class of sensors has been largely impeded by the lack of a technology capable of performing high-resolution measurements of large arrays of MEMS devices. We demonstrate a technology capable of filling that need that is based on MEMS suspended microcantilevers and an on-chip optical read-out, and show an implementation of an effective toluene sensor. Streszczenie. Mikroczujniki wykonane w technologii MEMS zdominowały światowe technologie dostarczając rozwiązań komercyjnych do pomiaru ciśnienia, bezwładności i temperatury. Pojawiły się również bardziej zaawansowane zastosowania w dziedzinie zobrazowania podczerwieni i kumulacji energii. Do dzisiaj jednak nie udało się zademonstrować komercyjnego czujnika chemiczno-biologicznego, chociaż raporty o wysokiej czułości mikro-belek umożliwiające rejestrację pojedynczej molekuły (zeptogramy, 10-21g) są już dostępne w literaturze. Głównym problemem ograniczającym rozwój tej technologii jest brak metod umożliwiających pomiar odkształcenia matryc mikro-belek z wysoką rozdzielczością. Artykuł prezentuje technologię otrzymania wymaganej rozdzielczości dla dużych matryc mikro-belek w technologii MEMS z wykorzystaniem metod optycznych. Jako przykład zastosowania przedstawiono rezultaty dla czujnika toluenu. Rozwój czujników MEMS z zintegrowanym systemem odczytu Keywords: biological sensor[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 94039 "Towards MEMS-based chem/b..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2015-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2015-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma