Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2014 - zeszyt 11

Miniaturowy mikroskop elektronowy - koncepcje i możliwości technologiczne

10.12915/pe.2014.11.32

nr katalogowy: 87758
10.12915/pe.2014.11.32

W artykule przeanalizowano różne próby miniaturyzacji mikroskopów elektronowych lub ich elementów opublikowane w literaturze. Przedstawiono nową koncepcję miniaturyzacji mikroskopu transmisyjnego wytworzonego całkowicie metodami mikroinżynierii krzemu i szkła z wykorzystaniem nowoopracowanej mikropompy wysokiej próżni. Opisano problemy technologiczne, które muszą być rozwiązane, aby mógł powstać mikrosystemowy mikroskop elektronowy. Abstract. This article analyzes different attempts of electron microscope (and it’s elements) miniaturization presented in literature. It describes a new concept of miniaturization of a transmission electron microscope, created with use of silicon and glass microengineering techniques, integrated with newly developed high vacuum micropump. Technological problems are described, which must be overcome for MEMS electron microscope to be created. (Miniature electron microscope - concept and technology capabilities). Słowa kluczowe: miniaturyzacja, mikroskopia elektronowa, mikropompa, MEMS. Keywords: miniaturization, electron microscopy, micropump, MEMS. doi:10.12915/pe.2014.11.32 Wstęp Mikroskopy elektronowe od wielu lat są jednym z podstawowych narzędzi poznania materii. Wysokie wymagania co do próżni powodują, że wielkość tych instrumentów jak i ich złożoność jest duża. Od wielu lat trwają intensywne prace nad miniaturyzacją mikroskopów elektronowych. Pierwszym krokiem w miniaturyzacji mikroskopów było zastosowanie wyrzutni polowej, która daje wiązkę bardziej skupioną w porównaniu z wyrzutnią termojonową. Umożliwiło to uproszczenie konstrukcji systemu soczewek elektronowych i zmniejszenie głównego wymiaru kolumny elektronooptycznej do kilkunastu centymetrów. Dodatkowo miniaturyzacja pomp próżniowych, układów sterujących, zasilaczy oraz detektorów spowodowała, że cały system można zmieścić na biurku w obudowie o rozmiarach ok. 15×30×30 cm3 [1]. Takie urządzenia są już powszechnie dostępne i można j[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 87758 "Miniaturowy mikroskop ele..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2014-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2014-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma