Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2014 - zeszyt 10

Proces rozpylania techniką magnetronową w atmosferze dwóch gazów reaktywnych

10.15199/ELE-2014-166

nr katalogowy: 87356
10.15199/ELE-2014-166

Współczesne cienkowarstwowe elementy stosowane w elektronice, fotowoltaice i sensorach gazoczułych wymagają technologii materiałowych umożliwiających przygotowanie warstw o coraz większej złożoności składu chemicznego. Technologia powinna również zapewniać możliwość nanoszenia materiału na duże powierzchnie (rzędu m2) w kontrolowany i powtarzalny sposób co jest niezwykle istotne przy produkcji elementów układów fotowoltaicznych np. warstw antyrefleksyjnych. Jedną z metod otrzymywania cienkich warstw jest technika rozpylania katodowego, która w zależności od tego czy proces prowadzony jest w atmosferze gazu obojętnego (argonu, neonu, ksenonu), czy też w atmosferze zawierającej gaz reaktywny (azot, tlen, metan), pozwala otrzymywać warstwy metaliczne lub warstwy związków chemicznych (azotków, tlenków, węglików). Modyfikacja procesu rozpylania katodowego, poprzez wprowadzenie pola magnetycznego przy powierzchni rozpylanej tarczy, zwiększającego szybkość jej rozpylania, nosi nazwę "katody magnetronowej" lub "układu magnetronowego" [1, 2]. Katody magnetronowe są powszechnie stosowane w aparaturze przemysłowej do nanoszenia metalizacji lub warstw dielektrycznych i półprzewodnikowych. Przykładem materiałów wymagających użycia w procesie ich otrzymywania techniką rozpylania magnetronowego dwóch różnych gazów reaktywnych są tlenoazotki wykorzystywane jako warstwy dielektryczne (tlenoazotek krzemu) lub fotoanody (tlenoazotki tytanu [3]) w komórkach do fotokatalitycznego [4] rozkładu wody. Wprowadzenia azotu jako domieszki do cienkich warstw TiO2 zmienia w sposób znaczący właściwości optyczne i elektryczne otrzymanego materiału. Dozowanie azotu, jako drugiego gazu reaktywnego pozwala otrzymać cienkie warstwy z układu tytan-azot-tlen od azotku tytanu przez tlenoazotki do dwutlenku tytanu domieszkowanego azotem [5]. Wraz ze zmianą składu obserwuje się przesunięcie k[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 87356 "Proces rozpylania technik..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2014-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2014-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma