Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2014 - zeszyt 10

Stanowisko do badania dźwigni mikromechanicznych wzbudzanych elektromagnetycznie

10.15199/ELE-2014-163

nr katalogowy: 87353
10.15199/ELE-2014-163

Dźwignie mikromechaniczne wykonywane są przeważnie z krzemu monokrystalicznego (Si), tlenku krzemu SiO2 lub azotku krzemu (Si3N4) w postaci belki sprężystej jednostronnie utwierdzonej. Długość tego typu przyrządów wynosi z reguły setki mikrometrów, natomiast grubość może zmieniać się w zakresie od pojedynczych mikrometrów do setek nanometrów. Układy tego typu stanowią zatem systemy MEMS (ang. Micro Electro-Mechanical System) lub NEMS (ang. Nano Electro-Mechanical System). Dźwignię mikromechaniczną modeluje się matematycznie wykorzystując teorię wytrzymałości materiałów, gdzie przyrząd mikromechaniczny opisuje się jako klasyczną belkę jednostronnie utwierdzoną - obowiązują te same prawa i zależności. Z punktu widzenia zastosowań, dźwignie takie mogą pracować jako układy statyczne lub jako układy dynamiczne, inaczej mówiąc - rezonansowe. Stosowane są zazwyczaj jako układy służące do pomiaru sił oddziaływań między cząsteczkami lub jako układy do pomiaru masy oraz jej zmiany [1]. Dźwignie przeznaczone do pracy w trybie statycznym powinny charakteryzować się jak najmniejszą sztywnością. Natomiast dźwignia pracująca w trybie rezonansowym powinna charakteryzować się możliwie wysoką częstotliwością drgań własnych przy zachowaniu niewielkiej sztywności. W wypadku dźwigni zawierających aktuator wychylenia, zakres ich stosowalności rozszerza się o mikro- oraz nanomanipulację. Parametrem wiążącym pomiary sił, masy oraz manipulację jest sztywność. W tym przypadku można zapisać wzór (1), wiążący siłę F działającą na koniec belki z jej ugięciem z w postaci: F = kz (1) Z powyższej zależności wynika również fakt, że drugim istotnym czynnikiem jest pomiar ugięcia mikrodźwigni. W literaturze notuje się bardzo wiele metod detekcji wychylenia końcówki dźwigni, jednak największe czułości oraz rozdzielczości zapewniają metody optyczne, jak na przykład metoda interferometryczna czy natężeniowa [2]. W niniejszej pracy metody optyczne stanowią pod[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 87353 "Stanowisko do badania dźw..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2014-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2014-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma