Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2014 - zeszyt 5

Badania nad syntezą metodą CVD warstw o mało zróżnicowanej grubości na płaskich podłożach w reaktorze rurowym

nr katalogowy: 86432

Z wielu metod syntezy warstw metoda CVD jest najbardziej odpowiednia do syntezy w niskiej temperaturze czystych i gęstych warstw, o mało zróżnicowanej grubości, w tym również na podłożach o złożonym kształcie, zwłaszcza z materiałów o wysokiej temperaturze topnienia. Ze względu na duży udział w takich materiałach wiązania kowalencyjnego cechują się one małym współczynnikami dyfuzji zarówno objętościowej, jak i powierzchniowej. Z tego względu innymi metodami, np. PVD, zol-żel, warstw takich z tego typu materiałów nie udaje się uzyskać. W przypadku stosowania metody zol-żel jest niezbędne zastosowanie w ostatnim etapie ich otrzymywania procesu spiekania. W celu Wuzyskania gęstych spieków z takich materiałów trzeba dodać topniki, by tworzyła się faza ciekła ułatwiająca proces zagęszczania. Przykładem takiego materiału może być Al2O3. Żeby uzyskać nieporowaty spiek z tego typu materiału należy dodać np. ok. 2÷3% Y2O3, MgO. Dodatek ten jest zanieczyszczeniem warstwy, co ma wpływ na jej własności. Natomiast w przypadku metody PVD, z powodu tworzenia się klasterów fazy stałej w fazie gazowej o dość znacznych rozmiarach, warstwy otrzymane z tych materiałów mogą wykazywać porowatość, której w tym procesie nie udaje się zlikwidować. Warstwy Al2O3 syntezowane metodą CVD wykazują większą adhezję do podłoży z węglików spiekanych niż syntezowaną metodą PVD [1] i znacznie większą niż otrzymywane metodą zol-żel [2]. Proces CVD jest dość złożony. Prowadzenie go "metodą prób i błędów" wymaga wykonania bardzo wielu prób, by znaleźć odpowiednie warunki syntezy warstw. Dlatego autorzy od wielu lat zajmują się matematycznym modelowaniem zarówno procesu syntezy warstw tą metodą, jak też własności [np. 3, 4]. Stosując odpowiednie równania opisujące proces transportu masy z fazy gazowej do podłoża, znajdującego się w określonym reaktorze CVD oraz określając Grx/Rex 2, można przewidzieć z dużą dokładnością przepływowe i temperaturowe parametry proce[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 86432 "Badania nad syntezą metod..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2014-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2014-5

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma