Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2014 - zeszyt 2

Skanowania optyczne powierzchni jako narzędzia oceny ilościowej i jakościowej powierzchni warstw i powłok

nr katalogowy: 82505

Metody skaningu optycznego stosowane są do pomiarów topografii cienkich przeźroczystych warstw oraz warstw wierzchnich. Metody optyczne poza topografią mogą również obrazować zmiany w obszarze objętości warstwy (np.: centra rozpraszania w warstwie, defekty krystaliczne itp.). W badaniach optycznych powierzchnie warstwowe można skanować przez przesuwanie wiązki światła białego lub laserowego prostopadle do próbek z jednoczesnym pomiarem współczynnika odbicia. Na takiej metodyce pomiarowej opiera się profilometria optyczna (PO ). Inną metodą skaningową jest skaningowa elipsometria spektroskopowa (SSE) wykorzystująca światło spolaryzowane. W tej metodzie liniowo spolaryzowana wiązka światła jest przesuwana wzdłuż próbki przy ustalonym kącie padania na próbkę. W każdym kroku wyznaczana jest zmiana polaryzacji światła odbitego od badanej warstwy., Profilometria optyczna (PO ) jest jedną z odmian metod profilometrycznych, w której igła skanująca (jak to ma miejsce w mikroskopii AFM, czy profilometrii stykowej) została zastąpiona wiązką światła [1-4]. PO jest metodą bezkontaktową więc nie niszczy próbek, jak to często ma miejsce w profilometrii mechanicznej oraz w AFM przy badaniu materiałów miękkich np. polimerów. W połączeniu z metodami stykowymi może służyć do rozdzielenia rozproszenia światła spowodowanego zmiennym składem materiałowym powierzchni od topograficznego, wynikającego z istnienia nierówności. [5]. Inną niewątpliwą zaletą PO jest możliwość pomiaru grubości warstw zmieniających się wzdłuż powierzchni na którą warstwa została naniesiona. W PO rozdzielczość boczna jest zdeterminowana przez średnicę wiązki światła. W nowoczesnych profilometrach stosowane są skolimowane wiązki laserowe o średnicy poniżej 1 μm [6]. W PO próbka oświetlana jest relatywnie małym w stosunku do powierzchni próbki obszarze. Tą cechą PO różni się od standardowej mikroskopia optycznej w której oświetlana jest duża powierzchnia próbek. Tę wł[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 82505 "Skanowania optyczne powie..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2014-2 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2014-2

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma