Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2013 - zeszyt 6

Synteza warstw tlenku glinu w argonie metodą MOCVD

nr katalogowy: 81514

Warstwy Al2O3 syntezowane metodą CVD z następujących reagentów AlCl3-H2-CO2 lub AlCl3-H2O(para)-CO [1] znalazły zastosowanie do otrzymywania narzędzi skrawających węglików spiekanych stosowanych do obróbki skrawaniem stopów o bardzo precyzyjnym składzie (ok. 0,0001%). Narzędzia takie są stosowane do wytwarzania metalowych części takich urządzeń, jak np. roboty. Taśmy montażowe z zamontowanymi robotami muszą pracować bezawaryjnie przez kilka lat. W związku z tym roboty muszą być w tym czasie niezawodne. Niezawodność elementów tych urządzeń uzyskuje się przez bardzo restrykcyjne wymagania odnośnie do składu chemicznego stopów, z których są wykonane, a także ich budowy. Takie elementy metalowe są otrzymywane często za pomocą obróbki skrawaniem i jest ważne, aby nie były zanieczyszczane w trakcie tego procesu materiałem pochodzącym z narzędzi skrawających, których ostrze w trakcie skrawania może nagrzewać się do temperatury nawet ponad 800°C. Dlatego warstwy muszą się cechować bardzo dobrą adhezją do podłoża, a także dużą czystością i gładkością. Ustalono optymalną grubość tych warstw na ok. 5 μm. W dotychczasowej technologii są syntezowane w postaci monowarstw lub multiwarstw grubości kilku mikrometrów przez kilkadziesiąt godzin w temperaturze powyżej 1000°C na uprzednio osadzonej pośredniej ciągłej warstwie TiN, TiC lub Ti(C, N) [2, 3]. Zadaniem warstwy pośredniej jest zapobieganie dyfuzji kobaltu z podłoża do syntezowanej warstwy Al2O3, którego obecność w tak wysokiej temperaturze sprzyja syntezie warstwy o nadmiernie wydłużonych krystalitach fazy α-Al2O3 [4, 5]. Warstwy Al2O3 tak syntezowane zawierają fazę κ-Al2O3 i/lub α-Al2O3. Faza κ-Al2O3 jest metatrwała i dość miękka, o małych ziarnach, które w warstwach wchodzących w skład multiwarstwy mogą mieć rozmiary rzędu nanometrów. Faza α-Al2O3 jest trwała, twarda i ma ziarna o znacznej wielkości (rzędu mikrometrów) [6]. Należy nadmienić, że bezpośred[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 81514 "Synteza warstw tlenku gli..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2013-6 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2013-6

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma