Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2013 - zeszyt 5

Kinetyka wzrostu powłok Al2O3 osadzanych metodą PED i PLD

nr katalogowy: 80244

Cienkie powłoki Al2O3 są stosowane w wielu dziedzinach. Dzięki dobrym właściwościom mechanicznym są używane jako powłoki odporne na ścieranie [1] oraz powłoki odporne na korozję [2], właściwości optyczne zadecydowały o ich zastosowaniu w światłowodach [3], a elektryczne o zastosowaniu jako warstwy pasywne w półprzewodnikach metal-tlenek [4]. Każda z tych aplikacji wykorzystuje inną technikę preparatyki. Stosuje się m.in. wysokotemperaturową (ponad 1000°C) metodę CVD [2, 5]. Inną techniką jest metoda PLD, która ze względu na dużą energię kinetyczną ablacji pozwala na otrzymanie powłok w niższej temperaturze substratu [6, 7]. Metodą PLD można otrzymać powłoki o różnej budowie, np. w pełni zwarte, o strukturze kolumnowej [8÷12]. Metody otrzymywania cienkich powłok bazujące na wykorzystaniu wiązek wysokoenergetycznych znajdują coraz szersze wykorzystanie w technice. Do metod takich można zaliczyć m.in. pulsacyjną ablacje laserową (Pulsed Laser Deposition - PLD) oraz pulsacyjną ablacje elektronową (Pulsed Electron Deposion - PED). W pierwszej wykorzystuje się laser jako źródło energii, natomiast w drugim przypadku wiązkę elektronów. Podczas osadzania tymi metodami impulsowa wiązka lasera lub elektronów pada na powierzchnię substancji w stanie stałym. Przy odpowiednio dużej gęstości energii oraz krótkim czasie impulsu w wyniku silnej absorpcji wysokoenergetycznego promieniowania część powierzchni materiału zostaje gwałtownie odparowana (ablacja) w postaci plazmy. Materiał plazmy przemieszcza się bardzo szybko w kierunku prostopadłym do powierzchni tarczy, napotykając na swojej drodze podłoże osadza się na nim, tworząc powłokę. Kształt i temperatura plamki plazmy mają istotny wpływ na jednolitość otrzymywanej powłoki. Na jakość powłoki wpływ ma mechanizm osadzania materiału plazmy na podłożu. Wysokoenergetyczny materiał plazmy, uderzając w podłoże, powoduje wybicie atomów z powierzchni. W tym o[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 80244 "Kinetyka wzrostu powłok A..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2013-5 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2013-5

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma