Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2013 - zeszyt 10

Pomiar szumów piezorezystywnych przetworników mikromechanicznych

nr katalogowy: 79988

Ocena właściwości metrologicznych przetworników mikromechanicznych ma szczególnie ważne znaczenie przy określaniu minimalnych zakresów mierzonych sił oraz wychyleń, które zazwyczaj są rzędu setek pikometrów oraz siły rzędu pikonewtonów [1, 2]. Do pomiaru właściwości metrologicznych mikroprzetworników belkowych ze zintegrowanym detektorem ugięcia wykorzystuje się małoszumowe wzmacniacze pomiarowe. Mikroprzetworniki belkowe wykonywane są przeważnie z krzemu w postaci belki jednostronnie zamocowanej (rys. 1). Długość tego typu przyrządów jest z reguły rzędu setek mikrometrów, natomiast grubość może zmieniać się w zakresie od pojedynczych mikrometrów do setek nanometrów. Układy tego typu stanowią zatem systemy MEMS (z ang. Micro Electro-Mechanical System) lub NEMS (z ang. Nano Electro-Mechanical System). Detekcja wychylenia możliwa jest na kilka sposobów, najbardziej popularnym jest optyczna detekcja wiązki odbitej od powierzchni przyrządu [3]. W układach mikrodźwigni piezorezystywnych obserwuje się zmianę rezystancji piezorezystorów, będącą wynikiem ugięcia przyrządu lub działania naprężeń powierzchniwych [4]. W przypadku rezystorów metalowych - tensometrów, naprężenia mechaniczne powodują zmianę geometrii elementu. Zupełnie inaczej efekt zmiany rezystancji pod wpływem naprężeń wygląda w strukturach półprzewodnikowych. W tym przypadku oprócz wymiarów geometrycznych zmianie ulega również rezystywność materiału. W strukturach mikromechanicznych piezorezystory rozmieszczone są zazwyczaj tak, aby utworzyć mostek Wheatstone’a [4], zwiększa to czułość detektora i jednocześnie poprawia jego stabilność termiczną. Polaryzując jedną przekątną mostka napięciem symetrycznym ±UPOL na drugiej przekątnej uzyskuje się różnicę potencjałów UDET zgodnie z zależnością: (1) gdzie: ΔR - zmiana rezystancji, R - rezystancja piezorezystora. Łatwo zauważyć, że czułość detektora piezorezystywnego jest proporcjonalna do napięcia przyłożo[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 79988 "Pomiar szumów piezorezyst..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2013-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2013-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma