Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2013 - zeszyt 8

Three-dimensional modelling of the DC glow discharge using the second order fluid model

nr katalogowy: 78466

This paper presents the development of a three dimensional second order fluid model, used to properly describe a DC glow discharge, maintained by secondary emission at cathode, at low pressure, by using Cartesian geometry. The transport description of the charged species uses the corresponding first three moments of Boltzmann equation, coupled in a self-consistent way with Poisson equation. Some assumptions are required in order to simplify the numerical procedure. Thus, all transport equations are treated in the same manner, using classical drift-diffusion expression for fluxes. We used in this work, the Tchebychev distribution for the longitudinal positions, which gives dense grids near the electrodes in order to accurately resolve the sheaths and to speed up the computing time. Streszczenie. W artykule zaprezentowano trójwymiarowy model opisujący DC wyładowanie jarzeniowe otrzymywane przez emisję katodowa przyt niskim ciśnieniu. Do opisu wykorzystano równanie Boltzmanna sprzężone z równaniami Poissona. (Trójwymiarowe modelowanie wyładowania jarzeniowego DC przy użyciu modelu cieczy drugiego rzędu) Keywords: DC Glow Discharge, 3D Cartesian geometry, Fluid Model, Tchebychev Distribution Słowa kluczowe: wyładowanie jarzeniowe, model cieczy, rozkład Czebyszewa Introduction Low pressure glow discharges are of topical interest for lots of technological applications like plasma light sources and plasma processing in the microelectronics industry, such as etching and deposition of thin films [1]. Because of their importance, there has been growing efforts to understand the glow discharge mechanisms and to simulate the discharge processes. Therefore, a three-dimensional description of the macroscopic characteristics of the DC glow discharge in the Argon-like gas is presented in this paper. Such work is motivated by the development of complex numerical models in the last decade which are readily solvable using computers available nowadays.[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 78466 "Three-dimensional modelli..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2013-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2013-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma