Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2013 - zeszyt 3b

Pressure-assisted generation of thermal donors in doped Cz-Si

nr katalogowy: 75313

Generation of thermal donors (TD's) in oxygen-containing Cz-Si, also admixed with N or Ge, annealed at about 720 K for up to 20 h, also under Ar hydrostatic pressure (HP) up to 1.4 GPa, was investigated by electrical and X-ray methods. Contrary to annealing at 723 K - 105 Pa, processing under HP leads to TD's concentration peaking at the wider temperature range, it is also dependent on dopants present in Cz-Si. HP processing results also in other hitherto not known effects. Streszczenie. Zbadano, przy zastosowaniu metod elektrycznych i rentgenowskich, generację donorów termicznych (TD's) w zawierającym tlen Cz- Si, w tym domieszkowanym N lub Ge i wygrzanym w ok. 720 K przez czas do 20 godzin w warunkach wysokiego ciśnienia hydrostatycznego Ar (HP), do 1,4 GPa. W przeciwieństwie do efektu wygrzania Cz-Si w 723 K pod ciśnieniem 105 Pa, wygrzanie w warunkach HP prowadzi do zwiększonej koncentracji TD's w szerszym zakresie temperatur i innych nieznanych dotąd efektów. (Uwarunkowana zwiększonym ciśnieniem generacja donorów termicznych w domieszkowanym Cz-Si). Keywords: Cz-Si, thermal donors, high hydrostatic pressure, annealing. Słowa kluczowe: Cz-Si, donory termiczne, wysokie ciśnienie hydrostatyczne, wygrzewanie. Introduction In spite of extended investigations [1], some aspects of generation of thermal donors (TD's) in oxygen-containing Czochralski grown silicon (Cz-Si) remain to be mysterious, hydrostatic pressure (HP)-induced enhancement of the TD's formation [2] among them. The effect of HP on the TD's generation in Cz-Si doped with B, N, P and Ge and processed at 673-873 K (HT) under HP≤1.4 GPa is now investigated in more details by four points probe; the structure of some samples has been controlled by X-ray diffractometry. Experimental Boron- or phosphorus doped n- and p-type Cz-Si samples, about 0.6 mm thick and (001) oriented, were investigated in present study. Some samples wer[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 75313 "Pressure-assisted generat..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2013-3b licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2013-3b

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma