Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2012 - zeszyt 6

Osadzanie i właściwości materiałów cienkowarstwowych otrzymywanych w procesie RP-CVD z różnych prekursorów krzemoorganicznych

nr katalogowy: 73484

Cienkie warstwy węglika krzemu a-SiC:H i węgloazotku krzemu a-SiCN:H ze względu na swoje unikatowe właściwości użytkowe od lat cieszą się szerokim zainteresowaniem. Warstwy te charakteryzują się dobrą odpornością termiczną, duża twardością, małym współczynnikiem tarcia i odpornością na działanie kwasów i zasad. Warstwy węglika krzemu i węgloazotku krzemu są najczęściej otrzymywane metodami chemicznego nanoszenia z fazy gazowej (CVD), takimi jak np. proces fotochemiczny [1], termochemiczny [2], plazmochemiczny [3] oraz stosowany przez autorów prezentowanej pracy selektywny proces plazmowy CVD [4÷11]. Selektywny proces CVD nanoszenia cienkich warstw wyróżnia się spośród pozostałych metod łatwością kontroli parametrów procesu oraz jakością i jednorodnością powstających materiałów. Powłoki a-SiC:H i a-SiCN:H były otrzymywane z różnych jednoźródłowych prekursorów krzemoorganicznych (silany, karbosilany, silazany i aminosilany) różniących się między sobą strukturą i budową chemiczną. W prezentowanej pracy przedstawiono wyniki badań cienkich warstw węglika krzemu a-SiC:H i węgloazotku krzemu a-SiCN:H otrzymanych z różnych jednoźródłowych prekursorów krzemoorganicznych w selektywnym procesie CVD inicjowanym atomowym wodorem. Zakres badań obejmował określenie wpływu temperatury na strukturę chemiczną i właściwości fizyczne i fizykochemiczne powstających cienkich warstw. Część Doświadczalna Warstwy wytwarzano w selektywnym procesie plazmowym CVD inicjowanym atomowym wodorem. Stosowano następujące parametry procesu: ciśnienie panujące w reaktorze p = 85 Pa, szybkość przepływu gazu nośnego - wodoru F(H2) = 100 sccm (standardowy centymetr sześcienny na minutę), szybkość przepływu prekursora F = 0,3÷0,8 sccm, moc mikrofalowa zasilania plazmy P = 120 W. Warstwy były osadzane na modelowych podłożach z krystalicznego krzemu (c-Si) i stali chirurgicznej, na podłożach o złożonej geometrii w celu zbadania konforemności odwzorowania powierzchn[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 73484 "Osadzanie i właściwości m..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2012-6 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2012-6

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma