Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2012 - zeszyt 12a

Chłodzony wodą zasilacz prądu stałego do zasilania magnetronu

nr katalogowy: 73060

W artykule zaprezentowano nowe rozwiązanie przemysłowego układu zasilacza prądu stałego przystosowanego do zasilania magnetronu stosowanego w procesach napylania plazmowego. Prezentowane rozwiązanie cechują następujące oryginalne rozwiązania: układ kompensacji długości przewodów zasilających magnetron czy chłodzenie urządzenia wodą z wewnętrznym obiegiem powietrza. Przyjęte rozwiązania techniczne pozwoliły uzyskać doskonałe parametry użytkowe, małe gabaryty i masę urządzenia, a także długi czas życia zasilacza w trudnych warunkach przemysłowych. Abstract. The paper presents new solution of power supplies which supply magnetron for plasma sputtering application. The presented solution has a number of such innovations as water-cooling and the CompensateLine circuit and cause the system has such advantages as small size, small weight and the possibility of the long use. Also a correct work was shown at voltage dip, and other parameters being located in a norm concerning the quality of the system work. These features of the presented power supply are essential at using in the photovoltaic industry as well as in other branches of industry, where is being used plasma sputtering. (Water cooled DC power supply for magnetron) Słowa kluczowe: zasilacz prądu stałego, magnetron, napylanie plazmowe, ogniwo słoneczne Keywords: DC power supply, magnetron, plasma sputtering, solar cell Wstęp Procesy napylania plazmowego są obecnie wykorzystywane w wielu dziedzinach techniki [1], [2]. Pozwalają one uzyskać parametry powierzchni niedostępne dotychczas żadnymi innymi metodami. Z popularnych zastosowań można tu wymienić m.in.: warstwy metaliczne na płytach CD i DVD, warstwy magnetyczne na tarczach dysków twardych, warstwy na szybach odbijające promieniowanie podczerwone, warstwy półprzewodnikowe w ogniwach fotowoltaicznych czy też stosowane w przemyśle supertwarde powłoki DLC (ang. Diamond-Like- Carbon; powłoki diamentopodobne), pozwalające zwiększyć t[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 73060 "Chłodzony wodą zasilacz p..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2012-12a licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2012-12a

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma