Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 10

Techniki rozpylania magnetronowego DC, MF i RF do nanoszenia cienkich warstw WO3

nr katalogowy: 71957

Henryk Jankowski, Konstanty Marszałek, Jerzy Sokulski, Yevhen Zabila, Tomasz StapińskiOtrzymywanie warstw elektrochromowych na dużych powierzchniach stanowi poważny problem technologiczny i jest barierą w produkcji urządzeń elektrochromowych zmieniających charakterystykę transmisji pod wpływem małego napięcia [1, 2]. Ważnym zastosowaniem zjawiska elektrochromowego są tzw. inteligentne okna (smart windows) [3]. Opracowanie technologii otrzymywania cienkowarstwowych struktur elektrochromowych w oparciu o warstwy tlenku wolframu ma duże znaczenie z uwagi na problematykę bilansu energetycznego budynków z dużymi przeszkleniami [4, 5]. Dlatego też istotne jest rozwijanie tanich technologii umożliwiających nakładanie warstw na duże powierzchnie. Zagadnienia te wpisują się w nakreślone przez Unię Europejską programy oraz w problematykę rozwijanych w Polsce odnawialnych źródeł energii (OZE). W prezentowanej pracy przedstawiono badania trzech magnetronowych technik nanoszenia w celu określenia przydatności do rozpylania metalicznych tarcz wolframowych. Analiza procesu reaktywnego rozpylania konieczna jest do znalezienia optymalnych warunków technologicznych dla nanoszenia powłok na duże powierzchnie. Uzyskane warstwy WO3 stanowiły elementy aktywne badanych układów elektrochromowych [3]. System nanoszenia System technologiczny umożliwia nanoszenie warstw metodami magnetronowego reaktywnego rozpylania DC (unipolarnego), AC (bipolarnego) oraz RF (częstotliwości radiowej 13,56 MHz). Cienkie warstwy WO3 otrzymywano metodami magnetronowego reaktywnego rozpylania stałoprądowego (DC) i przy częstotliwościach średnich (MF) oraz radiowych (RF). Do otr[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 71957 "Techniki rozpylania magne..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma