Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2012 - zeszyt 10b

Mikropompa dla urządzeń nanoelektroniki próżniowej

nr katalogowy: 71399

Rozwój urządzeń nanoelektroniki próżniowej jest ograniczony brakiem możliwości wytworzenia wysokiej i ultra wysokiej próżni w objętości mniejszej niż 1 cm3. W pracy przedstawiono konstrukcję i technologię mikropompy jonowo-sorpcyjnej, która może być zintegrowana z każdym urządzeniem wytworzonym technikami mikroinżynieryjnymi. Wykonano struktury testowe mikropompy i zmierzono ich właściwości. Abstract. The development of vacuum nanoelectronics devices is limited due to an unsolved problem of high and ultrahigh vacuum generation inside cavity smaller than 1 cm3. In the work construction and technology of the ion-sorption vacuum micropump, which can be integrated with each microdevice that is fabricated using microingineering techniques, is described. The test structures of the micropump have been produced and preliminary characterized. (Micropump for Nanoelectronics devices). Słowa kluczowe: polowe źródło elektronów, emisja polowa, mikropompa, mikroinżynieria. Keywords: field-emission electron source, field emission, micropump, microingeenering. Wstęp Urządzenia nanoelektroniki próżniowej to przyrządy wykorzystujące bezkolizyjny balistyczny ruch elektronów w próżni [1]. Jako źródło elektronów stosuje się najczęściej katody polowe. Mają one podstawową zaletę w porównaniu z katodami termicznymi - nie wymagają grzania do temperatury przekraczającej 1800 °C i dają możliwość bardzo szybkiego włączania i wyłączania prądu emisji. Polowe źródła elektronów charakteryzują się niską mocą zasilania i pozwalają na miniaturyzację wielu nowoczesnych urządzeń. Rozwój urządzeń nanoelektroniki próżniowej rozpoczął się od badań nad płaskimi wyświetlaczami typu FED (Field Emission Display) [2], źródłami światła [3] oraz wzmacniaczami wysokiej częstotliwości [4]. Ostatnio prowadzone są intensywne badania nad miniaturowymi źródłami promieniowania rentgenowskiego [5] oraz terahercowego [6]. Polowe źródła elektronów znalazły zastosowanie w czujnikach ciśn[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 71399 "Mikropompa dla urządzeń n..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2012-10b licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2012-10b

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma