Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2012 - zeszyt 10b

Układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych mikroprzetworników wysokoczęstotliwościowych

nr katalogowy: 71351

W niniejszym artykule opisany został układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych dźwigni krzemowych. Omówiona została metoda uzyskiwania mikrodźwigni sprężystych. Opisana została budowa specjalizowanego układu optycznego do detekcji ugięcia mikrobelek oraz zasada detekcji ugięcia Przedstawiona została również nowa metoda pomiarowa, polegająca na wykorzystaniu modulowanej wiązki światła do pomiaru parametrów przetworników o wysokich częstotliwościach rezonansowych. Abstract. In this paper we describe a system for measuring the resonance characteristics of the silicon cantilever. The method of preparation spring cantilevers is presented. The construction of a specialized optical system to detect the deflection of the cantilevers and the principle of detection the cantilevers deflection is described. The new method based on the modulated laser beam, to measure characteristics of the high frequency transducers, is presented.(Setup for measuring the resonance characteristics of high-frequency microtransducers). Słowa kluczowe: mikrodźwignia, mieszacz częstotliwości, modulacja, laser. Keywords: microcantilever, frequency mixer, modulation, laser. Wstęp Obserwowany postęp w dziedzinie zaawansowanych technologii wiąże się również z wytwarzaniem i zastosowaniem układów o coraz mniejszych wymiarach. Lepsze zrozumienie zjawisk występujących w tego typu zespołach wymaga prowadzenia obserwacji w skali pojedynczych nanometrów. Konsekwencją tej tendencji jest opracowanie narzędzi metrologicznych umożliwiających precyzyjne ilościowe pomiary bardzo małych sił, mas i przemieszczeń. Idealnym do tego celu rozwiązaniem wydają się być przetworniki nanomechaniczne (ang. Nano- Electro-Mechanical-Systems - NEMS). W układach takich dzięki dużym częstotliwościom rezonansowym, wysokiej dobroci oraz małym wymiarom geometrycznym możliwa jest detekcja zmian masy rzędu attogramów [1,2] oraz siły rzędu piko- i femtonewtonów [3]. Zastosowanie[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 71351 "Układ do pomiaru charakte..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2012-10b licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2012-10b

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma