Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 9

Dobór parametrów procesu wytwarzania sprzęgaczy siatkowych struktur fotonicznych przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową

nr katalogowy: 70984

W niniejszym artykule zaprezentowany został sposób wytwarzania specjalnych struktur fotonicznych, umożliwiających wprowadzanie światła do ścieżek optycznych układów scalonych, przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową (FIB). Atrakcyjność tej metody wynika z faktu, że średnica wiązki jonowej jest mniejsza niż 10 nm, co umożliwia wytwarzanie struktur o rozmiarach rzędu kilkuset nanometrów, bez konieczności stosowania wieloetapowego procesu fotolitografii z użyciem kosztownych masek [1]. Wykorzystywane w obszarze fotoniki zintegrowanej planarne struktury falowodowe, ze względu na niewielki przekrój poprzeczny, cechują się bardzo dużym stopniem integracji. Pojawia się jednak problem połączenia nanofotonicznych obwodów krzemowych (o wymiarach ok. 200 × 500 nm) z wielokrotnie większym światłowodem, którego standardowe wymiary to 10 × 10 μm. Aby zminimalizować straty światła przy takim połączeniu, należy znaleźć sposób rozwiązania tego problemu [2, 3]. Jednym z obiecujących pomysłów jest wykorzystanie w tym celu struktur fotonicznych ze sprzęgaczami siatkowymi. Sprzęgacze siatkowe Sprzęgacze siatkowe, to struktury dyfrakcyjne służące do wprowadzania światła ze światłowodu do ścieżek optycznych obwodów nanofotonicznych. Wykonane są one w postaci periodycznych zaburzeń współczynnika załamania na powierzchni warstwy falowodowej [1]. Pionowe sprzęgacze siatkowe Typowe sprzęgacze siatkowe (rys. 1a) składają się z płytkich szczelin wytrawionych w krzemowej warstwie falowodowej, prostopadle do jej powierzchni. Choć wykorzystanie tego typu struktur jest niezwykle obiecującym sposobem łączenia światłowodów z nanofotonicznymi obwodami krzemowymi, to zarówno wyniki symulacji, jak i przeprowadzonych do tej pory eksperymentów świadczą o konieczności udoskonalenia tej metody. Maksymalna efektywność połączenia, jaką uzyskano przy wykorzystaniu pakietu MEEP (Mit Electromagnetic Equation Propagation) przeznaczonego do symu[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 70984 "Dobór parametrów procesu ..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma