Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 9

Badania właściwości struktur MOS na SiC dla wybranych rozwiązań technologiczno-konstrukcyjnych

nr katalogowy: 70975

W Zakładzie Charakteryzacji Struktur Nanoelektronicznych ITE prowadzone są badania struktur półprzewodnikowych, wykonanych przy użyciu nowatorskich materiałów i procesów technologicznych. Przykłady takich innowacyjnych struktur, opracowywanych w ramach projektu InTechFun, są tematem przedstawianego artykułu. Prezentowane badania, dotyczące określenia istotnych parametrów schematów pasmowych takich struktur oraz ich właściwości mikro-strukturalnych, wymagały zastosowania oryginalnych i kompleksowych technik pomiarowych, wśród których należy podkreślić znaczenie opracowanych przez zespół metod fotoelektrycznych oraz zastosowanie spektroskopii mikro-ramanowskiej. Przedstawione wyniki badań dotyczą dwóch zagadnień związanych z opracowaniem struktur na węgliku krzemu. Jak wiadomo, problem kontaktów omowych do struktur na SiC wymaga opracowania niestandardowych rozwiązań. Jednym z nich jest wykonanie kontaktu z warstwami pośrednimi z węgla. Ocena jakości struktury takich kontaktów metodą spektroskopii mikro-ramanowskiej ma duże znaczenie dla dalszych prac technologicznych w tym zakresie. Interesującym zagadnieniem jest stwierdzona niejednorodność rozkładów niektórych parametrów elektrycznych struktur MOS w obrębie bramek, zależna m.in. od materiału bramki, izolatora bramkowego i warunków procesów technologicznych. Niejednorodność ta spowodowana jest wpływem szczególnego rozkładu naprężeń mechanicznych w strukturze przy krawędzi i wewnątrz bramek na poziomy niektórych potencjałów w strukturze MOS. Wyniki tych badań, prowadzonych metodami fotoelektrycznymi, pozwalają na optymalizację[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 70975 "Badania właściwości struk..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma