Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 9

Badania strukturalne warstw węglowych w kontaktach omowych - porównanie widm ramanowskich obserwowanych od strony warstwy krzemkowej oraz podłoża z węglika krzemu

nr katalogowy: 70971

Węglik krzemu (SiC) jest postrzegany jako znakomity materiał do wyrobu układów półprzewodnikowych pracujących w zakresie wysokich mocy, częstości i temperatur. Powodem takiej oceny przydatności SiC są następujące właściwości fizyczne: dobre przewodnictwo cieplne, wysokie krytyczne pole elektryczne oraz łatwa metoda wytwarzania warstwy dielektrycznej polegająca na powierzchniowym utlenianiu [1, 2]. Jednym z istotnych aspektów zastosowań SiC jest produkcja kontaktów omowych z małą rezystywnością [3]. Technologia wytwarzania kontaktów omowych polega na osadzeniu warstwy metalicznej na podłożu z węglika krzemu, a następnie na wygrzaniu tak otrzymanego układu w wysokiej temperaturze [4, 5]. Nikiel jest prawdopodobnie najczęściej stosowanym metalem w technologii wytwarzania kontaktów omowych. Rezystywność kontaktów otrzymywanych za pomocą niklu wynosi ~ 10-6 Ω cm2 [4]. Oddziaływanie struktur węglowych z podłożem z węglika krzemu było obserwowane za pomocą rentgenowskiej spektroskopii fotoelektronowej oraz rozproszenia Ramana [6]. Właściwości kontaktów omowych są determinowane przez grafitowe ziarna o wielkości rzędu nanometra, które powstają podczas procesu wygrzewania. Wyjściowa postać warstwy węglowej: węgiel amorficzny lub molekuła C60, nie ma wpływu na właściwości formowanego kontaktu [6, 7]. Termiczna dekompozycja SiC prowadzi do powstania na jego powierzchni warstwy węglowej o wzajemnym ułożeniu płaszczyzn grafenowych typu ABC [8]. Wygrzewanie w temperaturze 800°C lub wyższej powoduje zmiany strukturalne w ziarnach węglowych położonych na powierzchni SiC. Przedstawione w pracy badania koncentrują się na widmach ramanowskich wzbudzanych promieniowaniem widzialnym. Dzięki braku absorpcji w SiC dla tego zakresu spektralnego możliwe było porównanie wyników otrzymanych dla obserwacji prowadzonych od strony warstwy krzemkowej oraz podłoża z węglika krzemu. Warunki eksperymentalne Próbki Technologia wykonania oraz właściwo[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 70971 "Badania strukturalne wars..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma