Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 9

Nanostemplowanie w zastosowaniu do wytwarzania struktur fotonicznych w GaN

nr katalogowy: 70965

Azotek galu jest atrakcyjnym materiałem do zastosowań w przyrządach elektronicznych wysokich mocy i dużych częstotliwości oraz zaawansowanych aplikacjach optoelektronicznych [1-3]. Duża odporność chemiczna tego materiału z jednej strony sprawia, że urządzenia mogą pracować w agresywnym środowisku, z drugiej strony utrudnia jego strukturyzację. W przypadku struktur fotonicznych, charakteryzujących się periodycznością, perspektywiczną techniką jest nanostemplowanie. Umożliwia ono wykonanie dużej ilości procesów w krótkim czasie przy uzyskaniu wzorów o wymiarach sięgających 20 nm. Ideą procesu nanostemplowania w trybie Th-NIL jest mechaniczne odciśnięcie wzoru stempla w warstwie rezystu ogrzewanego powyżej temperatury zeszklenia Tg (ang. Glass Transition Temperature), a następnie chłodzonego w celu utrwalenia powstałego odcisku. W przypadku trybu UV, etapem odpowiadającym za utrwalenie powstałego odcisku jest promieniowanie UV, dzięki któremu następuje usieciowanie użytego rezystu. Do transferu submikrometrowych wzorów w głąb azotku galu wykorzystuje się technikę trawienia w plazmie o wysokiej gęstości ICP (ang. Inductive Coupled Plasma). Najszerzej stosowana jest plazma chlorowa oraz jej warianty z domieszką trójchlorku boru [4-6], azotu [7] czy argonu [8, 9]. Celem prezentowanej pracy było opracowanie technologii strukturyzacji GaN technikami nanostemplowania oraz trawienia ICP. Planując badania określono następujące kryteria oceny procesów: - profil trawienia możliwie najbardziej anizotropowy; - szybkość trawienia powyżej 100 nm/min (niższe szybkości powodują wydłużenie czasów trawienia struktur o głębokościach powyżej 1000 nm); - chropowatość wytrawionej powierzchni (RMS) poniżej 20 nm. Eksperyment W eksperymencie wykorzystano trzy rodzaje azotku galu o orientacji (0001): warstwy epitaks[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 70965 "Nanostemplowanie w zastos..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma