Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 8

Process-oriented suboptimal controller for SiC bulk crystal growth system

Marek Orzyłowski

nr katalogowy: 70156

The described controlled system is a furnace for silicon carbide (SiC) bulk crystal growth. This modern semiconductor material is used for the production of electronic elements having properties not available earlier: white and blue LEDs, ultra-fast high-voltage Schottky diodes, MOSFET transistors and high-temperature highcurrent thyristors. These elements work at high frequencies and are both radiation resistant, and temperature resistant up to a few hundred °C. Due to good heat conductivity SiC wafers are used as substrate for other semiconductor compounds. Because of technological difficulties, a high quality SiC wafer costs 350…3500 USD while an equivalent ordinary silicon wafer costs about 5 USD. The technological process of the SiC bulk crystal growth bases on the physical vapor transport (PVT) and takes place at temperatures reaching 2500°C in argon atmosphere of low pressure [1]. The known constructions of systems for such purposes usually base on a single-section inductive heater, although preliminary concepts of construction with resistance heating have appeared [2]. In the presented solution the temperature field is formed by a two-section resistance heater of innovative construction worked out together with the described control system. It is worth emphasizing that the high-temperature part of the system can only be made of graphite, which has both electrical and thermal conductivities high. The reactor with the heating system is closed in a vacuum chamber. It is possible to measure the temperature in the reactor from outside by means of the pyrometers using optical channels, whose number and arrangement affect the temperature distribution inside and brings on significant complication of the construction. The intended suboptimal controller should ensure a relatively low deterioration of the control performance index compared to the optimal value. The concept and the solution of a dedicated suboptimal temperat[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 70156 "Process-oriented suboptim..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma