Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2012 - zeszyt 4

Metody analizy parametrów roboczych detektora punktu rosy typu MEMS

nr katalogowy: 67032

Półprzewodnikowy detektor punktu rosy typu MEMS jest zintegrowanym czujnikiem umożliwiającym pomiar wilgotności bezwzględnej gazu w sposób zgodny z definicją tego parametru. W odróżnieniu od klasycznych higrometrów z detektorem optycznym, w higrometrze z detektorem półprzewodnikowym wykorzystywana jest zależność parametrów elektrycznych detektora od ilości molekuł wody kondensującej na jego powierzchni. Parametry wypadkowe detektora, jakie ulegają zmianie wraz z pojawianiem się nowych warstw wody to wypadkowe wartości rezystancji równoległej Rp i pojemności równoległej Cp oraz moduł impedancji |Z|, będący wypadkową poprzednich dwóch wielkości. W rzeczywistości każda z wymienionych wielkości jest elementem zastępczym systemu linii transmisyjnych RiCi o stałych rozłożonych, których parametry zależą od ilości molekuł wody i rodzaju ich rozłożenia na powierzchni detektora [1], [2]. Znajomość zależności wymienionych wielkości od ilości wody na powierzchni lustra pozwala na określenie progu detekcji, a tym samym na określenie istotnego czynnika mającego wpływ na dokładność pomiaru wilgotności gazu. Problem jaki pojawia się w trakcie pomiaru wilgotności z wykorzystaniem opisywanego detektora, to wybór odpowiedniego progu detekcji, to jest wartości Cp, Rp lub |Z| dla których zmierzona temperatura powierzchni detektora jest temperaturą punktu rosy. Konstrukcja detektora typu MEMS i jego zasada pracy Detektory punktu rosy typu MEMS [3] zaprojektowano w Zespole Mikrosystemów i Czujników Pomiarowych Politechniki Warszawskiej, a wykonano w Instytucie Technologii Elektronowej na podłożu krzemowym z dwiema warstwami metalizacji (rys. 1). Rys.1. Przekrój przez strukturę detektora MEMS Fig 1. MEMS detector cross-section Rys. 2. Widok poszczególnych warstw metalizacji detektora punktu rosy: a) geometria grzejnika (linie grube) i termorezystora (linie cienkie), b) geometria detektora molekuł wody (system elektrod grzebieniowych) Fig. 2. Separ[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 67032 "Metody analizy parametrów..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2012-4 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2012-4

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma