Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2011 - zeszyt 4

Zastosowanie metod kwantowych w badaniu ścieżek reakcji w CVD

nr katalogowy: 64727

Różnorodność materiałów, które można otrzymać z zastosowaniem metody chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD - ang. Chemical Vapour Deposition), należy rozumieć między innymi jako różnorodność składu chemicznego i form morfologicznych, zróżnicowanie stopnia krystaliczności/amorficzności struktury, a w konsekwencji również zróżnicowanie właściwości, decydujące o zastosowaniach. Jak dotychczas, w procesach CVD udało się użyć prekursory gazowe 70% pierwiastków układu okresowego, wytwarzając materiały w różnych postaciach (jak warstwy, proszki, wiskersy) [1]. Szerokie spektrum produktów, które można otrzymać z zastosowaniem CVD łączy się z istotą samego procesu, o którego przebiegu decyduje duża liczba czynników i któremu towarzyszy szereg złożonych zjawisk fizykochemicznych. Te ostatnie to przede wszystkim transport masy i energii oraz rekcje chemiczne, których mechanizm jest zwykle trudny do przewidzenia. To, co w istotny sposób wyróżnia metodę CVD, a w szczególności odróżnia ją od metody fizycznego osadzania z fazy gazowej, to udział homo- i heterogenicznych reakcji chemicznych. W istocie są to wzajemnie sprzężone reakcje następcze, które zachodzą w warunkach przepływu gazów reakcyjnych (stały dopływ reagentów i odprowadzanie produktów ubocznych). Ich przebieg zależy od uwarunkowań termodynamicznych i kinetycznych, te zaś od parametrów procesu (temperatury, ciśnienia, typu i stężenia prekursorów gazowych oraz od rodzaju podłoża). Reakcje mogą być aktywowane nie tylko cieplnie, ale również w wyniku przekazywania energii w polu elektromagnetycznym, elektrycznym i magnetycznym. Towarzyszy im tworzenie produktów pośrednich, w tym rodników i kompleksów aktywnych. W zależności od warunków procesu produkty pośrednie i produkty końcowe reakcji mogą się różnić (nawet jeśli użyto tych samych substratów). Wszystko to oznacza, że zrozumienie mechanizmów reakcji chemicznych w CVD i ich zależności od warunków procesu jest ważne nie tylko [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64727 "Zastosowanie metod kwanto..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2011-4 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2011-4

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma