Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 11

Metody i aparatura do badania parametrów powierzchni przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła

nr katalogowy: 64064

Zjawisko rozpraszanie światła jest już od dość dawna wykorzystywane do pomiarów chropowatości i innych parametrów powierzchni, np. reflektancji. Na rozwój metod opartych na tym zjawisku wpłynęły takie ich cechy jak: bezstykowy sposób pomiaru, możliwość pomiaru nawet skrajnie małych wysokości nierówności, mały czas pomiaru. Zalety te sprawiają, że metody rozproszeniowe (nazywane też skaterometrycznymi) znajdują liczne zastosowania w dziedzinach zaliczanych do tzw. wysokiej technologii. W elektronice są wykorzystywane w badaniach i kontroli podłożowych płytek krzemowych, warstw cienkich, dysków magnetycznych, podłoży szklanych i ceramicznych itp. [3, 7, 9, 10], a w optyce w ocenie zwierciadeł, soczewek i innych podzespołów [2, 4, 10]. Również w pomiarach powierzchni bardzo gładkich elementów mechanicznych, np. płytek wzorcowych metody rozproszeniowe mogą być korzystniejsze niż standardowe (warsztatowe) profilometry stykowe ze względu na ich niewystarczającą wtedy rozdzielczość. Bezstykowy sposób pomiaru może też być cenną zaletą, gdy chodzi o kontrolę elementów w czasie ich ruchu. Metody pomiarowe Obszerne omówienie różnych metod pomiarowych powierzchni można znaleźć w pracach [4, 5]. Przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania najczęściej stosowane są metody reflektometryczne (odbiciowe), integracyjne i różniczkowe [6]. Przy metodach reflektometrycznych do obliczania wysokości nierówności powierzchni wykorzystuje się zależność między odchyleniem standardowym tej wysokości σ, a stosunkiem reflektancji zwierciadlanej Rs do reflektancji całkowitej Ro: (1) gdzie Rs jest stosunkiem mocy wiązki odbitej Ps do mocy wiązki padającej Pi , Ro - sumą reflektancji odbitej i dyfuzyjnej Ro = Pd / Pi , θi - kątem padania, a λ - długością fali. Zależność tę można stosować zakładając, że σ jest znacznie mniejsze, a odstępy między nierównościami znacznie większe od λ. Stosując tę metodę mierzymy moc wiązki odbitej, a takż[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64064 "Metody i aparatura do bad..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma