Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 11

Dwuetapowe formowanie dwukrzemianu tytanu

nr katalogowy: 64056

Współczesna mikroelektronika rozwija się w kierunku mikrominiaturyzacji, tzn. zmniejszenia liniowych rozmiarów elementów i rozszerzenia funkcjonalności półprzewodnikowych przyrządów. Krzemiany tytanu znajdują zastosowanie w obu tych kierunkach [1]. W związku z tym konieczne jest poszukiwanie nowych metod wytwarzania stabilnych i o wysokiej jakości warstw dwukrzemianu tytanu oraz wysokiej jakości innych krzemianów przeznaczonych do stworzenia przewodzących ścieżek oraz kontaktów w dużych układach scalonych [2]. Jednym z ważnych kierunków fizyki ciała stałego jest opracowanie nowych metod syntezy perspektywicznych materiałów z zadanymi strukturalnie wrażliwymi właściwościami. Perspektywicznym kierunkiem nowoczesnego materiałoznawstwa jest szybka obróbka termiczna (SOT). Określenie właściwości materiałów, wpływu parametrów SOT na proces formowania struktury może uprościć technologiczne procesy i istotnie podwyższyć jakość syntetyzowanych materiałów. Właściwości szybkiej obróbki termicznej są rozpoznane dla ograniczonej liczby układów. W przeważającej większości prac analizowano procesy formowania krzemianów tytanu w binarnych układach tytan-krzem. W rzeczywistych strukturach przyrządów półprzewodnikowych krzemiany tytanu powstają na podłoż[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64056 "Dwuetapowe formowanie dwu..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma