Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 11

Detekcja elektronów wtórnych przez przesłonę dławiącą w SEM o zmiennym ciśnieniu

nr katalogowy: 64049

Klasyczna skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) jest techniką próżniową, podczas gdy wiele rodzajów preparatów powinno być badane w odpowiedniej atmosferze gazowej. Takie możliwości stwarza SEM o zmiennym ciśnieniu lub środowiskowy (z ang. Variable Pressure/Environmental SEM, w skrócie VP/E SEM), w którym ciśnienie w komorze przedmiotowej może być utrzymywane na znacznie wyższym poziomie niż w kolumnie elektronooptycznej, wymagającej utrzymania wysokiej próżni. Te dwa regiony są odseparowane przez obszar o pośrednim ciśnieniu gazu, (tzw. komorę pośrednią) ograniczony dwoma przesłonami dławiącym przepływ gazu, a umożliwiającymi przechodzenie wiązki elektronowej [1]. Istotnym problemem związanym z techniką VP/E SEM jest detekcja sygnału elektronów wtórnych (SE). Standardowym rozwiązaniem jest tutaj detektor jonizacyjny, w postaci pierścieniowego kolektora umieszczonego w komorze przedmiotowej, nad próbką. Kolektor ten zbiera strumień SE zwielokrotniony dzięki zderzeniom jonizującym z molekułami gazu [2]. W zakresie niższych ciśnień, rzędu 1 hPa, można prowadzić detekcję fotonów emitowanych przy relaksacji wzbudzonych atomów [3, 4]. Jednak jakość sygnałów otrzymywanych z wymienionych detektorów istotnie zależy od rodzaju i ciśnienia gazu roboczego wypełniającego komorę przedmiotową [5]. Autorzy od dłuższego czasu zajmują się alternatywną techniką detekcji elektronów wtórnych, implikującą transport elektronów wtórnych poprzez przesłonę dławiącą i ich detekcję w komorze pośredniej (tzw. detektor jednostopniowy [6]) lub też o jeden stopień dalej, w obszarze próżni wysokiej (tzw. detektor dwustopniowy [7]) z zastosowaniem techniki scyntylacyjnej do konwersji sygnału elektrycznego na świetlny. Właściwości opracowanych detektorów są zbliżone do standardowego demogą być zapisane w formie czterech obrazów różniących się kierunkiem podświetlenia (kierunek detekcji). Po przetworzeniu otrzymuje się zbiór profili powierzchni wzdłuż lini[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64049 "Detekcja elektronów wtórn..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma