Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 11

Struktura i właściwości elektroniczne warstw AlN wytwarzanych w reaktywnym procesie rozpylania magnetronowego

nr katalogowy: 64044

Od końca lat dziewięćdziesiątych pojawiają się w literaturze doniesienia dotyczące syntezy warstw AlN metodami plazmowej inżynierii powierzchni. Najczęściej wykorzystywana jest tu metoda rozpylania magnetronowego (np.[1, 2]), stosowano także metodę parowania wiązką laserową (np.[3]). Genezą poszukiwań w tym zakresie są unikalne właściwości azotku glinu: stabilność termiczna, chemiczna, wysoka twardość, duża przewodność cieplna, bardzo dobre właściwości elektroizolujące (duża wartość napięcia przebicia), szeroka przerwa energetyczna, przezroczystość w zakresie widzialnym, bardzo wysoka transmitancja w zakresie podczerwieni, duża wartość współczynnika załamania światła. Właściwości te predestynują AlN zarówno do zastosowań mechanicznych, antykorozyjnych, jak i elektrycznych. W ostatnim dziesięcioleciu, szczególnie w ostatnim okresie można zaobserwować wzrastającą liczbę publikacji dotyczących wykorzystania warstw AlN w strukturach elektronicznych takich, jak falowody powierzchniowe, fotodetektory, warstwy antyrefleksyjne [4-6]. Celem opisanych poniżej badań nad syntezą warstw AlN metodą rozpylania magnetronowego było określenie warunków technologicznych otrzymywania warstw AlN o parametrach materiałowych odpowiadających potencjalnym aplikacjom w przyrządach elektronicznych. Metodyka eksperymentalna Warstwy AlN wytwarzane były metodą pulsacyjnego rozpylania magnetronowego z wykorzystaniem dwóch magnetronów kołowych WMK 100 [7], współpracujących ze sobą w układzie "Gemini"[ 8]. Targety o średnicy 100 mm i grubości 8 mm wykonane były z glinu o czystości technicznej (99,99%). Do zasilania magnetronów zastosowany został impulsowy zasilacz DORA PS o mocy 10 kW, prac[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64044 "Struktura i właściwości e..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma