Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 11

Technologia magnetronowa do przemysłowego otrzymywania powłok wielowarstwowych na szkle płaskim

Krzysztof Mars

nr katalogowy: 64041

Szkło płaskie jako materiał ceramiczny stosowany powszechnie w budownictwie, lub w przemyśle motoryzacyjnym pokrywane jest powłokami wielowarstwowymi. Odpowiednio dobrany zestaw warstw w powłoce pozwala skutecznie modyfikować właściwości funkcjonalne końcowego produktu. Przemysłowa technologia otrzymywania takich powłok musi sprostać licznym wymaganiom, do których min. należą: właściwe przygotowanie podłoża w formie płaskich szyb o znacznych wymiarach, możliwość precyzyjnej kontroli grubości i składu chemicznego osadzanych warstw, bezpieczny i przyjazny środowisku naturalnemu proces wytwórczy gwaratujący otrzymanie powłoki zgodnej ze specyfikacją danego produktu. Rozpylanie magnetronowe Powszechnie stosowane przemysłowe technologie otrzymywania powłok bazują zwykle na metodach fizycznego lub chemicznego osadzania z fazy gazowej. Synteza warstw odbywa się w warunkach próżniowych i jest wspomagana plazmowo. Ze względu ma dużą stabilność wyładowania i możliwość uzyskiwania wysokich szybkości nanoszenia coraz większą popularnośc wśród metod PVD zyskuje metoda rozpylania magnetronowego [1-5]. W procesach nanoszenia warstw metalicznych, w których rozpylany target ma formę czystego metalu, magnetron zasilany jest napięciem stałoprądowym (DC). Reaktywnym rozpylaniem magnetronowym nazywamy proces otrzymywania warstw w formie tlenków, azotków i innych związków chemicznych poprzez rozpylanie targetu w mieszance gazu roboczego i reaktywnego (tlen, azot, metan i in.) [6-8]. W procesach reaktywnych magnetron zasilany jest napięciem sinusoidalnym o częstotliwości 20…100 kHz. Pożądane ilości składników w syntezowanej warstwie (odpowiednią stechiometrię) osiąga się poprzez kontrolę parametrów technologicznych procesu. Obszar plazmy wyładowania magnetronowego emituje promieniowanie elektromagnetyczne. Promieniowanie to jest źródłem cennych informacji o stanie procesu rozpylania w układzie reaktywnym. Zastosowanie Emisyjnej[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 64041 "Technologia magnetronowa ..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-11 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-11

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma