Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 10

Elipsometryczna metoda określania naprężeń w strukturach MOS

Witold Rzodkiewicz

nr katalogowy: 63251

Prowadząc od kilku lat badania rozkładów parametrów elektrycznych w strukturach MOS stwierdzono, że w strukturach Al-SiO2-Si kilka spośród tych parametrów wykazuje charakterystyczny kopułkowaty kształt rozkładu w płaszczyźnie powierzchni bramki (z największymi wartościami w środku i najmniejszymi w narożach kwadratowej bramki) [1, 2]. Jednym z takich parametrów jest efektywna kontaktowa różnica potencjałów φMS. Uwzględniając wyniki dalszych badań [3, 4] postawiono hipotezę, że nierównomierne kształty rozkładu parametrów elektrycznych wynikają z nierównomiernych kształtów rozkładu naprężeń mechanicznych pod metalową bramką. Chcąc udowodnić lub obalić tę hipotezę, prowadzone są badania naprężeń i odkształceń występujących w strukturach MOS. Celem tej pracy jest omówienie modelu pochodnych ułamkowych elipsometrycznych widm w ujęciu naprężeń mechanicznych w warstwie półprzewodnika struktury MOS. Eksperyment W pracy tej, analizie elipsometrycznej poddane zostały dwie grupy płytek. Pierwszą grupę stanowiły czterocalowe płytki krzemowe o orientacji <100> i typie przewodnictwa n. Takie płytki poddawane były dwustronnemu utlenianiu termicznemu w atmosferze pary wodnej (HYDROX) w temperaturze 1000°C do grubości tlenku ok. 50, 80, 110 nm. Natomiast drugą grupę płytek reprezentowały płytki z krzemem o orientacji <111> implantowane azotem (energia jonów 150 keV, dawka D = 2 × 1016 cm-2) przed i po poddaniu obróbce HT-HP (wygrzewanie w wysokiej temperaturze pod wysokim ciśnieniem hydrostatycznym). Pomiary elipsometryczne wykonywane były za pomocą elipsometru spektroskopowego o zmiennym kącie padania VASE (ang. Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer) firmy J.A. Woollam Inc. Co. w szerokim zakresie spektralnym (1,24… 4,96 eV) dla dwóch kątów padania (65o; 75o). W oparciu o uzyskane metodą elipsometryczną widma εE2(E) i odpowiednio zastosowane różniczkowanie ułamkowe wspomnianych widm, wyznaczone zostały eksperymentalnie [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 63251 "Elipsometryczna metoda ok..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma