Czasopismo | OCHRONA PRZED KOROZJĄ | Rocznik 2011 - zeszyt 10

Warstwy diamentowe otrzymywane metodą HF CVD o zróżnicowanej morfologii, metody weryfi kacji otrzymanych warstw oraz ich zastosowanie

nr katalogowy: 63048

W artykule omówiono technikę syntezy warstw diamentowych metodą HF CVD (Hot Filament Chemical Vapour Deposition - Chemiczne Osadzanie z Fazy Gazowej przy użyciu Gorącego Włókna). W celu zwiększenia gęstości nukleacji zarodzi diamentowych wykorzystano tzw. biasing. Przedstawiono zależność jakości warstw od parametrów procesu ich wzrostu. Dokonano oceny wpływu zmiany zawartości metanu w gazie roboczym na jakość osadzanych warstw diamentowych. Badanie jakości warstw oparto o trzy nieinwazyjne metody: elektronową mikroskopię skaningową, dyfrakcję rentgenowską oraz spektroskopię Ramana. Metody te wzajemnie się uzupełniają, dając informacje o wielkości krystalitów, morfologii, naprężeniach i zawartości fazy niediamentowej w otrzymanych warstwach. Właściwości fi zyczne syntetycznych diamentów determinują ich możliwe zastosowania, takie jak: pokrycia ochronne, podzespoły i układy elektroniczne, elektrody w elektrochemii, optyka, narzędzia tnące i ścierne itp. Słowa kluczowe: proces HF CVD, mechanizm wzrostu cienkich warstw diamentowych, wodór atomowy, morfologia warstw diamentowych Various morphology diamond layers obtained by HF CVD method, methods for verifi cation of obtained layers and their applications Diamond layer synthesis by means of the HF CVD method (Hot Filament Chemical Vapour Deposition) has been discussed. Biasing was used as a means to enhance diamond nucleation. The relation between the quality of the layers and their growth process parameters has been presented.The impact of changes in the content of methane present in the operating gas on the quality of the deposited diamond layers has been evaluated. Three non-invasive methods i.e. scanning electron microscopy, X-ray diffraction and Raman spectroscopy have been used to evaluate the quality of the layers. These methods are complementary and provideinformation about crystallite sizes, morphology, stresses and non-diamond phase contentin the diamond layers. The physical[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 63048 "Warstwy diamentowe otrzym..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


OCHRONA PRZED KOROZJĄ - e-zeszyt (pdf) 2011-10 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	42.00 zł

Prenumerata

OCHRONA PRZED KOROZJĄ - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

504.00 zł

OCHRONA PRZED KOROZJĄ - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
OCHRONA PRZED KOROZJĄ - papierowa prenumerata roczna	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
OCHRONA PRZED KOROZJĄ - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

678.00 zł

OCHRONA PRZED KOROZJĄ - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
OCHRONA PRZED KOROZJĄ - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	762.00 zł brutto 705.56 zł netto 56.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

762.00 zł

Zeszyt

2011-10

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma