Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 9

Badania strukturalne warstw węglowych w niklowych kontaktach omowych za pomocą widzialnej i nadfioletowej spektroskopii ramanowskiej

nr katalogowy: 62683

Węglik krzemu jest uważny za bardzo dobry materiał do wytwarzania układów elektronicznych wysokiej mocy oraz wysokiej częstości ze względu na: dobrą przewodność cieplną oraz duże napięcie przebicia [1]. Tworzenie kontaktów omowych na podłożu SiC wykonuje się poprzez osadzanie warstwy metalicznej oraz wygrzanie układu (annealing) w temperaturze około 1000°C [2-4]. Najczęściej używanym do tworzenia kontaktów z SiC typu n metalem jest Ni ze względu na formowanie kontaktów o niskiej rezystywności ~ 10-6 Ω cm2 [2, 5]. Pomimo że postuluje się kilka mechanizmów formowania kontaktów omowych [1, 6-9] dwa aspekty są określone jednoznacznie: tworzenie krzemków na powierzchni SiC nie wystarcza do tworzenia kontaktu [2] oraz początkowa struktura warstwy węglowej pomiędzy SiC a pierwszą warstwą niklu nie ma wpływu na tworzenie kontaktu omowego [4, 10]. Zaprezentowane badania pokazują zmiany struktury warstwy węglowej pod wpływem wygrzewania oraz migrację atomów węgla do powierzchni swobodnej krzemku. Warunki eksperymentalne Próbki. Jako podłoży użyto trzech płytek 4H-SiC (Cree Research Inc.), na których osadzono warstwę SiC o grubości 2,97 μm typu n otrzymaną poprzez domieszkowanie azotem. Na próbkach osadzono następującą sekwencję warstw C/Ni/Si/Ni/Si o grubościach: C - 3 nm, Ni - 30 nm i Si - 33 nm. Próbki poddano wygrzewaniu w dwóch etapach. W pierwszym wszystkie próbki wygrzano przez 15 min. w 600°C w atmosferze N2 w celu uformowania krzemków. W drugim etapie każdą z próbek poddano wygrzaniu w wyższej temperaturze przez 3 min. też w atmosferze N2. Dokładne warunki wygrzewania próbek oraz wartości oporności podano w tab. 1. Oznaczenia próbek z tab. 1: nsc1_1, nsc1_2 i nsc1_3 będą konsekwentnie stosowane w dalszym tekście. (Coherent Inc., USA) λ = 488 nm oraz jej drugiej harmonicznej λ = 244 nm. Zmotoryzowany stolik (Ludl Electronics, USA) umożliwiał pozycjonowanie próbek z dokładnością 20 nm w kierunkach x lub y o[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 62683 "Badania strukturalne wars..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma