Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 9

Badania elektronomikroskopowe kontaktów omowych do węglika krzemu wytwarzanych na bazie niklu

nr katalogowy: 62663

Węglik krzemu, ze względu na swoje unikalne właściwości jest materiałem o dużym potencjale aplikacyjnym do zastosowań w przyrządach elektronicznych wysokich mocy i częstotliwości, pracujących w wysokich temperaturach. Niezawodność przyrządów wytwarzanych na bazie węglika krzemu, zależy od jakości kontaktów omowych do SiC. Kontakty te powinny odznaczać się niską rezystywnością, a ponadto stabilnością parametrów podczas długotrwałej pracy w wysokich temperaturach. Obiecującym materiałem do wytwarzania struktur kontaktowych do węglika krzemu jest nikiel [1]. Kontakty wytwarzane na bazie niklu charakteryzują się niską rezystywnością. Aby kontakt miał charakterystykę omową, konieczne jest jednak zastosowanie wysokiej temperatury wygrzewania. Typowym podejściem technologicznym jest naniesienie warstwy niklu na podłoże SiC oraz wygrzanie struktury. Podczas obróbki termicznej Ni reaguje z krzemem z podłoża SiC. Tworzy się stabilna faza Ni2Si, a uwolniony w ten sposób węgiel gromadzi się w warstwie krzemku w postaci wytrąceń co może wpływać negatywnie na niezawodność kontaktów. W celu uniknięcia reakcji niklu z podłożem można wprowadzić dodatkową warstwę krzemu na granicy z podłożem SiC [2-6]. W artykule przedstawiono wyniki badań elektronomikroskopowych nad strukturami Ni/Si na podłożu SiC po kolejnych etapach wygrzewania. Omówiony został wpływ przejść fazowych zachodzących podczas wygrzewania na strukturę i morfologię kontaktów omowych. Zaproponowane zostało wyjaśnienie przyczyn oraz mechanizmów prowadzących do powstawania nieciągłości w obrębie warstw kontaktowych. Przedstawione wnioski przybliżają do pełnego zrozumienia procesów zachodzących podczas wytwarzania kontaktów z wykorzystaniem warstwy podkładowej Si oraz wytwarzania lepszych kontaktów omowych o zadowalającej morfologii. Dane eksperymentalne Struktury kontaktowe naniesiono na podłoże 4H-SiC w orientacji (0001) typu n, (n ~ 2·1017 cm-3) firmy Cree Research Inc. S[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 62663 "Badania elektronomikrosko..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma