Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 8

Kontrola procesu reaktywnego rozpylania magnetronowego - analiza modelu

ANDRZEJ BRUDNIK

nr katalogowy: 61957

Procesy reaktywnego rozpylania są powszechnie stosowane do otrzymywania związków chemicznych: tlenków, azotków, węglików metali. Proces reaktywnego rozpylania magnetronowego, szczególnie przy dużej szybkości nanoszenia warstw, charakteryzuje się występowaniem niestabilności związanej ze zmianami ciśnienia gazu reaktywnego w procesach jego adsorpcji i absorpcji [1-8]. Celem zapewnienia stabilnych i powtarzalnych warunków technologicznych, konieczny jest wybór metody diagnozowania i kontroli parametrów procesu [1]. W literaturze przedstawione są modele opisujące proces reaktywnego rozpylania tarcz (targetów) metalicznych w atmosferze mieszaniny gazów (argon+ gaz reaktywny), bazujące na zmianie współczynnika wydajności rozpylania materiału niepokrytego i pokrytego warstwą związków chemicznych. Uwzględniają one zmiany ilości gazu reaktywnego wiązanego przez rozpylony materiał w ogólnym bilansie przepływu gazów przez komorę roboczą. Początkowo w opisie zjawiska (J. Heller, A. Yamashita) uwzględniano jedynie procesy zachodzące na powierzchni rozpylanej tarczy [2, 3]. Wprowadzono pojęcie tzw. "ciśnienia krytycznego" dla gazu reaktywnego, po przekroczeniu którego następowała gwałtowna skokowa zmiana szybkości nanoszenia warstw. W późniejszych pracach [4, 5] zaczęto również uwzględniać procesy związane z narastaniem warstwy związku chemicznego na powierzchni podłoża i ściankach komory technologicznej, co prowadzi do absorpcji gazu reaktywnego i zmiany jego efektywnego ciśnienia. Obecnie najczęściej do opisu procesu reaktywn[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 61957 "Kontrola procesu reaktywn..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma