Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 8

Miniaturowa pompa próżniowa

nr katalogowy: 61934

Nowoczesne systemy pompowe umożliwiają wytwarzanie ultrawysokiej i wysokiej próżni w komorach nawet o bardzo dużej objętości. Jednakże, problemem nierozwiązanym do dzisiaj pozostaje wytwarzanie próżni w objętościach rzędu mili- czy mikrolitrów. Takie rozmiary posiadają mikrokomory robocze większości mikrosystemów typu MEMS/MOEMS. Obecnie mikrosystemy oraz urządzenia Nanoelektroniki Próżniowej (NP) przeżywają gwałtowny rozwój, który objawia się produkcją milionów sztuk inteligentnych mikroczujników i aktuatorów oraz wielu miniaturowych urządzeń wykorzystujących zjawisko emisji polowej elektronów. Część z nich do poprawnej pracy wymaga wysokiej lub ultrawysokiej próżni. Nie jest możliwe zastosowanie tradycyjnych pomp do wytwarzania próżni w mikroobjętości. Celowe są więc badania nad opracowaniem mikropompy, która zintegrowana z mikrosystemami lub miniaturowymi urządzeniami NP pozwoli wytworzyć oraz podtrzymywać próżnię wydłużając w ten sposób czas ich pracy. Aby zrealizować tę koncepcję przyjęto założenie, że mikropompa będzie wykonana z tych samych materiałów, tymi samymi technikami i w tym samym procesie technologicznym co mikrosystem próżniowy. Miniaturowe pompy próżniowe W literaturze przedmiotu można spotkać gotowe rozwiązania mikropomp wykonanych technikami mikroelektronicznymi i mikroinżynieryjnymi. Są to głównie krzemowe mikropompy membranowe (rys. 1a) [1] aktuowane piezoelektrycznie, termicznie, magnetycznie lub elektrostatycznie. Ruch membrany powoduje przepływ gazu, a zawory nadają mu pożądany kierunek. Głównie ze względu na ograniczoną szczelność zaworów oraz ich dużą powierzchnię nie udało się uzyskać wymaganego podciśnienia (w prezentowanym rozwiązaniu wynosiło zaledwie 7 kPa). Mikropompy membranowe znalazły zastosowanie w mikrofluidyce do dozowania i pompowania cieczy w mikro[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 61934 "Miniaturowa pompa próżnio..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-8 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-8

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma