Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 3

Maskless laser lithography for fast Microand Nanotechnology devices prototyping in ITE

nr katalogowy: 58383

Production of MEMS/MOEMS on silicon substrates requires specific technological sequences significantly different from those used in fabrication of Integrated Circuits (ASICs). Applications, such as transducers, AFM probes, gripers are 3- dimensional, while ASICs are located within a thin top layer of a substrate. In the case of MEMS/MOEMS the entire volume of the substrate may play an important role being a functional part of the instrument e.g. mirrors, mobile parts of an actuator, bio-cells. To produce such a type of structures, in addition to a standard technological sequence, one may use deep silicon etching processes (wet and plasma). Often used silicon <100> anisotropic etching technology leads to slant-angle sidewalls. Some applications require placing a metal path going across the sloped area. Performing photolithography makes in such a case many difficulties, mainly because of the variable resist thickness. On expanded topographies, where the sloping surfaces exist, the resist layer is thicker close to the lower edges and thinner close to the top surface. In addition, one can observe an effect of decreasing the metal path width situated close the sloping surfaces resulting from additional resist exposure by light reflected from the mirror surface <111>. During developing of a MEMS/MOEMS new application very often is necessary to test more than one option of the design. Especially photolithography processes require such a type of optimization. Vario[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 58383 "Maskless laser lithograph..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-3 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-3

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma