Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2011 - zeszyt 3

Characterization of mos structures with ultrathin insulator layer by means of a theoretical model

BOGDAN MAJKUSIAK

nr katalogowy: 58380

Thickness of the gate oxide layers in the metal-oxide-semiconductor structures in the most advanced technologies has reached the range of a single nanometer and further scaling requires replacement of SiO2 by material of high electric permittivity because of the flow of unacceptable tunnel leakage current. Tunnel leakage affects also the admittance of the MOS capacitor which serves as the basic characterization and diagnostics tool. The aim of this work is to study the effect of the tunnel leakage on the capacitance and conductance - two components of the simplest small-signal equivalent circuits of the MOS structure. These quantities are computed with the use of a theoretical model. Conclusions from the theoretical considerations are reviewed for measurements of the fabricated Al-SiO2-Si capacitor. Small-signal equivalent circuit Fig. 1 shows a simple small-signal equivalent circuit of an MOS structure, which this study is based on. The capacitance CMOS representing an idealized MOS structure is shorted by the leakage conductance GL (resistance RL) reflecting tunneling through the insulator layer, and is connected with the series resistance RS representing the spreading resistance of the semiconductor substrate and the contact resistance. Simple transformations lead to relations between elements of the equivalent circuit shown in [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 58380 "Characterization of mos s..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2011-3 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2011-3

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma