Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2010 - zeszyt 4

Odwrotna analiza numeryczna temperatury stalowego podłoża w procesie RF PECVD

nr katalogowy: 57173

Procesy plazmochemiczne (plasma enhanced chemical vapor deposition - PECVD) są zaliczane do jednych z najbardziej rozwijanych współcześnie metod kształtowania warstwy powierzchniowej. Między innymi proces PECVD z elektrodą częstotliwości radiowej (ang. radio frequency - RF) są stosowane z powodzeniem do wytwarzania cienkich warstw o wysokich walorach użytkowych, w tym do wytwarzania warstw węglowych. Do największych zalet procesu RF PECVD należy zaliczyć możliwość wytworzenia fazy przejściowej zbudowanej z połączonych składników podłoża ze składnikami wzrastającej warstwy, odpowiedzialnej w szczególności za dobrą adhezję wytwarzanej warstwy do podłoża. Zewnętrznie kontrolowane parametry procesu w reaktorze plazmo- chemicznym, a mianowicie ciśnienie, szybkość przepływu mieszaniny gazów, moc wyładowania (gęstość mocy) oraz częstotliwość zasilającego generatora, mające fundamentalny wpływ na procesy zachodzące w fazie gazowej [1, 2], wpływają także na zachodzące oddziaływanie na granicy plazmy i powierzchni, w szczególności na wzrost temperatury podłoża w trakcie trwania procesu [3÷5]. W przypadku warstw węglowych wytwarzanych w procesie RF PECVD, temperatura podłoża również determinuje właściwości użytkowe wytwarzanej warstwy przez zmianę jej mikrostruktury oraz grubości tworzącej się międzywarstwy [6÷8]. Przekroczenie pewnej krytycznej wartości temperatury powierzchni próbki, powoduje, iż wodór celowo wprowadzony do komory lub powstały w wyniku dysocjacji gazu węglowodorowego, będącego źródłem węgla, prowadzi do przejścia od procesu osadzania do procesu trawienia warstwy węglowej [9, 10]. Zauważono, że osadzanie warstw w temperaturze powyżej 225°C (przybliżona wartość temperatury, przy której zachodzi przejście od procesu wzrostu do procesu trawienia wytwarzanej warstwy węglowej) wpływa na szybki spadek oporności elektrycznej i znaczące zmiękczenie warstw - następuje proces grafityzacji warstwy węglowej [2, 6, 11]. Dlatego osa[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 57173 "Odwrotna analiza numerycz..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2010-4 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2010-4

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma