Czasopismo | ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA | Rocznik 2010 - zeszyt 9

Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych − studium

nr katalogowy: 54290

Cienkie warstwy diamentowe wytwarzane w procesie CVD (ang. Chemical Vapour Deposition) posiadają unikatowe właściwości, takie jak: duża twardość, szeroka przerwa energetyczna, koincydencja dużej rezystywności z dobrym przewodnictwem cieplnym, szeroki zakres widmowy transmisji sygnałów optycznych, możliwość domieszkowania. Podobne właściwości wykazują także węglowe warstwy diamentopodobne DLC (ang. Diamond-Like-Carbon). Wymienione właściwości wykorzystywane są w technice cienkowarstwowej, np. jako pokrycia narzędzi tnących, pokrycia ochronne dla elementów optycznych na zakres IR, izolacyjne warstwy odprowadzające ciepło z układów scalonych i diod laserowych, filtry z falą powierzchniową, wyświetlacze z emisją polową [1], sensory, elementy półprzewodnikowe na wysokie moce i wysokie częstotliwości. Obecny poziom technologii wytwarzania warstw diamentowych jest niezadowalający w stosunku do wymagań. Ze względu na aplikacje istotna jest kontrola struktury warstw na poziomie molekularnym i zapewnienie powtarzalności procesu. W zależności od parametrów makroskopowych procesu, tj. metody wzbudzenia prekursora węglowego, ciśnienia całkowitego i parcjalnego gazów, typu i temperatury podłoża, warstwy diamentowe mogą być zanieczyszczone fazą grafitową (sp2) i/lub amorficzną, a także defektami chemicznymi (np. wiązania C-H). Defekty te istotnie wpływają na parametry takie jak: rezystywność, odporność na przebicie, transmisja w paśmie optycznym, itp. Możliwości zwiększenia efektywności procesu oraz poprawy jakości warstw tkwią m.in. w zastosowaniu skutecznej metody diagnostycznej, umożliwiającej wykrywanie poszczególnych faz węglowych oraz wiązań molekularnych odpowiadających defektom. Taką metodą może być laserowa spektroskopia ramanowska, oparta na akwizycji i analizie spektralnej promieniowania rozproszonego nieelastycznie podczas oddziaływania molekuł z silną wiązką promieniowania monochromatycznego. Była ona wykorzystywana badań [...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 54290 "Monitoring ramanowski wzr..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - e-zeszyt (pdf) 2010-9 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	35.00 zł

Prenumerata

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

420.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - papierowa prenumerata roczna	528.00 zł brutto 488.89 zł netto 39.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

570.00 zł

ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	636.00 zł brutto 588.89 zł netto 47.11 zł VAT (stawka VAT 8%)

636.00 zł

Zeszyt

2010-9

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma