Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2010 - zeszyt 7

Zaawansowane modelowanie warstw diamentowych CVD w zastosowaniach MEMS/MOEMS

nr katalogowy: 53413

W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™. Abstract. CVD formed diamond layers applied for MEMS/MOEMS applications have been presented and discussed in this paper. Physical properties of CVD diamond layers have been compared with silicon layer properties. As an example of diamond-based and silicon-based devices, modeling issues and results of simulations performed for typical MEMS structure have been presented and discussed. All simulations have been carried out within the specialized simulation environment - CoventorWare™. (Multidomain modeling and simulation of CVD diamond layers for MEMS/MOEMS applications). Słowa kluczowe: diament, mikrosystemy, symulacje, technologia diamentowa. Keywords: diamond, MEMS, simulation, diamond technology. Wstęp Obecnie świat elektroniki zdominowany jest przez technologie krzemowe. Materiały krzemowe i technologie z nimi związane osiągnęły niemal idealny stan pod względem jakości i uzysku. Większość systemów typu MEMS i MOEMS (ang. Micro-Electro-Mechanical System; Micro-Opto-Electro-Mechanical System) jest wytwarzanych głównie w technologii krzemowej. Jednak struktury wykonane z krzemu zawodzą, jeśli pracują w agresywnych ośrodkach, w wysokiej temperaturze lub przy silnym promieniowaniu cząstek jonizujących. Ograniczenia wynikające z właściwości krzemu, wymagają rozwijania badań związanych z materiałami, które są zarówno bardziej odporne na warunki środowiska, ja[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 53413 "Zaawansowane modelowanie ..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2010-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2010-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma