Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2010 - zeszyt 7

Composition of Co films/Si substrate systems prepared by means of self-ion assisted deposition and accompanying silicon damage

nr katalogowy: 53384

The composition, radiation damage and morphology of silicon modified by means of self - ion assisted Co deposition was investigated. Streszczenie. Zbadano skład i uszkodzenia radiacyjne krzemu zmodyfikowanego podczas naniesienia powłok Co metodą dynamicznego mieszania jonowego. (Skład i uszkodzenia radiacyjne krzemu w strukturach warstwa Co - podłoże krzemowe wytwarzanych w warunkach dynamicznego mieszania jonowego). Keywords: Co/Si structures, composition, damage, topography. Słowa kluczowe: struktury Co/Si, skład, uszkodzenia, topografia. Introduction Coatings of materials are widely used for scientific and technical challenge that is crucial for functional, protective or decorative layers. Among the various vacuum methods employed, improved adhesion of a thin film generally results if additional energy is provided during the growth process as, for example, in ion-beam assisted deposition techniques [1, 2]. These methods usually have the disadvantage that the resulting coating can contain several percent of the noble gas species used for ion assistance which may agglomerate at the film/substrate interface to form even higher local gas concentrations [2-4]. Clearly the use of ion species which are the same as the coating material would alleviate this problem and such methods are being developed [5-7]. In all of these studies a very simple source of film species ions is used. Inevitably this a source will also produce contaminant species. For example, metal (Cr, Zr, Mo) layers deposited on substrate by means of selfion assisted deposition (SIAD) at 5 — 20 keV consist of metal, carbon, oxygen, hydrogen derived from the residual vacuum and vacuum oil [8-10]. These films are of scientific interest and practical significance. They have controlled adhesion between the substrate and the film and offer a substantial reduction in friction force against a rotating steel shaft and a sliding steel pin under non-lubricated condition[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 53384 "Composition of Co films/S..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2010-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2010-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma