Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2010 - zeszyt 7

Metoda określania właściwości rezystancyjnych planarnych układów przewodzących implantowanych jonami o zasięgu porównywalnym z grubością układu

nr katalogowy: 53228

W pracy przestawiono metodę określania właściwości rezystancyjnych warstw implantowanych tworzących wraz z próbką układy planarne. Zastosowano metodę analizy właściwości układu zastępczego wirtualnie oddzielonej warstwy implantowanej i reszty materiału próbki. Analizie podlegają zmiany samej rezystywności obszaru zaimplantowanego jak również jej zależności temperaturowe, ciśnieniowe i inne. Grubości warstw implantowanych muszą być znane i porównywalne z grubością badanej próbki. Abstract. In the paper a method for analyze of resistive properties of implanted planar systems has been presented. A substitute resistance of virtually separated implanted layers foil and the rest of material specimen were taken under consideration. There is possible to analyze changes directly resistivity and it temperature, pressure and so on dependencies as well. The thicknesses of implanted layers have to be known and comparable with thickness of investigated specimens (The method for interpretation of resistance properties of planar conducting elements implanted with ions of range comparable with element thickness) Słowa kluczowe: implantacja, rezystywność, właściwości rezystancyjne. Keywords: implantation, resistivity, resistive properties. Wstęp Jednym z efektów towarzyszących implantacji jest zjawisko zmiany (zazwyczaj wzrostu w przypadku metali czystych) rezystywności objętości implantowanych, np. [1, 2, 3]. Jest to związane z wytwarzaniem dużej liczby defektów sieci (głównie pojedynczych wakansów) jak i wprowadzeniem dodatkowych atomów (jonów) - czynników mających bezpośredni związek z mechanizmem transportu ładunku. Badanie spadku przyrostu rezystancji próbek metalicznych implantowanych od energii aktywacji procesów zdrowienia jest metodą detekcji ich zachodzenia. Określenie rozkładów wytwarzanych defektów sieci (i jonów), których może być o kilka rzędów wielkości więcej niż liczba wprowadzanych jonów, jest podstawowym zagadnieniem metody implan[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 53228 "Metoda określania właściw..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2010-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2010-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma