Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2010 - zeszyt 7

An effect of rapid thermal annealing on the structure of TiN/Ti/Si

nr katalogowy: 53226

The structure-phase transformations that occur in TiN/Ti/Si system during pulse photon processing carried out with the incoherent light have been investigated using TEM method. The electrical and optical properties of C49 TiSi2 have been also studied. Streszczenie. Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2. (Wpływ szybkiego wygrzewania termicznego na strukturę TiN/Ti/Si). Keywords: Structure, density, RTA, TiSi2. Słowa kluczowe: Struktura, gęstość, RTA, TiSi2. Introduction When current density is increased there is a problem of interlayer bonds and contacts with active and passive circuit elements. Widely used aluminum is subject to electromigration that results in an abrupt drop of the VLSIC safety [1-4]. Search for the aluminum replacement has started approximately ten years ago. Stable titanium disilicide (TiSi2) that has low resistivity (13 μΩ.cm) has been investigated as an alternative material to Al [4-7]. By the time of starting our research data concerning phase diagrams and resistivity of massive TiSi2 have been known but available works devoted to thin films are very few. The problems concerning the synthesis of silicides of high-melting metals as well as their kinetics and mechanisms have been investigated for the case of thermal annealing[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 53226 "An effect of rapid therma..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2010-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2010-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma