Czasopismo | PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY | Rocznik 2010 - zeszyt 7

Structure changes in thin metal films during their thermal treatment

nr katalogowy: 53225

Under pulsed thermal treatment of the films, grain growth takes place provided that the non-equilibrium vacancy concentration is high, thus stimulating the migration of grain boundaries. Streszczenie. Przy poddaniu cienkich warstw obróbce termicznej impulsowej występuje rozrost ziaren pod warunkiem, że koncentracja wakansów nierównowagowych jest wysoka, stymulująca migrację granic ziaren. (Zmiany struktury cienkich warstw metalowych pod wpływem obróbki cieplnej) Keywords: Structure, density, free energy, vacancy, grain growth. Słowa kluczowe: Struktura, gęstość, energia swobodna, wakans, rozrost ziaren. Introduction Thin films produced by thermal vacuum deposition on amorphous or polycrystalline substrates are mainly of polycrystalline structure. Crystallization of thin films proceeds under conditions of considerable supersaturation and supercooling, which promotes formation of a large number of crystal lattice defects. Deposited films are characterized by high free energy and thermodynamically non-equilibrium state. A considerable number of vacancies are formed in a film at deposition proceeding under conditions of significant supercooling, when the substrate temperature is less than 1/3 of the deposited material melting temperature. The vacancy concentration substantially exceeds equilibrium concentration at the deposition temperature and can reach from 0.01 to 1 of atomic % [1-4]. Therefore, the structure of such films is unstable and their physical properties are unstable as well. On annealing the film free energy gets decreased due to the redistribution of lattice defects and the decrease of their concentration. The processes can be approached by means of thermodynamically equilibrium state in the following way:  Reaction between point defects and their annihilation  Redistribution of dislocations and the decrease of their density  Migration of grain boundaries  Decrease of t[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 53225 "Structure changes in thin..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - e-zeszyt (pdf) 2010-7 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	55.00 zł

Prenumerata

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

762.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	1002.00 zł brutto 927.78 zł netto 74.22 zł VAT (stawka VAT 8%)

1002.00 zł

PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - papierowa prenumerata roczna	960.00 zł brutto 888.89 zł netto 71.11 zł VAT (stawka VAT 8%)
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY - pakowanie i wysyłka	42.00 zł brutto 34.15 zł netto 7.85 zł VAT (stawka VAT 23%)

1002.00 zł

Zeszyt

2010-7

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma