Czasopismo | INŻYNIERIA MATERIAŁOWA | Rocznik 2010 - zeszyt 3

Composite layers produced on nickel substrate by the PACVD metod with the participation of trimethylaluminum

nr katalogowy: 52702

The PAMOCVD method (Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition) is a combination of two methods of deposition from a gaseous phase, namely the MOCVD method (Metal Organic Chemical Vapor Deposition), which is widely used in electronic industry, and the PACVD method (Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) in which the electrical activation of gaseous atmosphere can be done by direct current (DC) or radio frequency current (RF) or microwave current (MW) [1]. The process conducted in the gaseous atmosphere, enriched with metalorganic precursors (MOCVD) and activated by a glow discharge (PACVD), permits producing layers with unique properties, namely good adherence to the substrate, advantageous performance properties (wear and corrosion resistance, heat resistance), and good mechanical properties. This combined process can produce, e.g. layers of the Ti(OCN) type [2], CrN layers [3], titanium and nickel aluminides [4], aluminum coatings [5÷10], ZrO2, or NCD and DLC coatings. The CVD method with the participation of metalorganic precursors has already been used for producing aluminum layers since the end of 1960s (20th century). The use of the reactive atmospheres enriched with vapors of metalorganic compounds permitted lowering the process temperature thanks to the low temperature of decomposition of these compounds. In the production of aluminum coatings, the most frequently used metalorganic precursors are: trimethylaluminum [(CH3)Al3] known as TMA [5÷8], [(CH3)2AlH] (di-methyl-aluminum hydride - DMAH) [5÷10], [i-C4H9)3Al] (tri-isobutyl-aluminum - TIBA) [5÷7], bis(isobuthyl)(-methylcyclopentadienyl) aluminum (III) [6], diemethylamine alane DMEAA - [AlH3N(CH3)2(C2H5)] [6, 7, 9], triimethylylamine alane - TMAA [6, 7] and triethylamine alane - TEAA [6]. Studies carried out during the last years were chiefly aimed at seeking new precursors and examining how they affect the structure and properties of the aluminum l[...]

Jeśli masz wykupiony/przyznany dostęp - zaloguj się. Skorzystaj z naszych propozycji zakupu!

Publikacja


e-Publikacja (format pdf) - nr 52702 "Composite layers produced..." licencja: Osobista Produkt cyfrowy	10.00 zł

Zeszyt


INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - e-zeszyt (pdf) 2010-3 licencja: Osobista Produkt cyfrowy	65.00 zł

Prenumerata

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - prenumerata cyfrowa
licencja: Osobista

Produkt cyfrowy
Nowość

402.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna + wysyłka
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - papierowa prenumerata roczna	492.00 zł brutto 455.56 zł netto 36.44 zł VAT (stawka VAT 8%)
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - pakowanie i wysyłka	21.00 zł brutto 17.07 zł netto 3.93 zł VAT (stawka VAT 23%)

513.00 zł

INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS
licencja: Osobista

Szczegóły pakietu

Nazwa
INŻYNIERIA MATERIAŁOWA - PAKIET prenumerata PLUS (Prenumerata papierowa + dostęp do portalu sigma-not.pl + e-prenumerata)	600.00 zł brutto 555.56 zł netto 44.44 zł VAT (stawka VAT 8%)

600.00 zł

Zeszyt

2010-3

Twój Koszyk

Publikacja

Zeszyt

Prenumerata

Zeszyt

Czasopisma